[發明專利]一種引線鍵合夾具有效
| 申請號: | 201110291342.X | 申請日: | 2011-09-29 |
| 公開(公告)號: | CN102446803A | 公開(公告)日: | 2012-05-09 |
| 發明(設計)人: | 陳建安;馮小成;練濱浩;姚全斌 | 申請(專利權)人: | 北京時代民芯科技有限公司;中國航天科技集團公司第九研究院第七七二研究所 |
| 主分類號: | H01L21/687 | 分類號: | H01L21/687;H01L21/60;B23K3/08 |
| 代理公司: | 中國航天科技專利中心 11009 | 代理人: | 安麗 |
| 地址: | 100076 北*** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 引線 夾具 | ||
1.一種引線鍵合夾具,其特征在于:包括固定軸(1)、齒輪箱(2)、小齒輪(3)、大齒輪(4)、小軸(5)和大軸(6);固定軸(1)一端與設備工作臺連接,固定軸(1)另一端與齒輪箱(2)連接,小齒輪(3)和大齒輪(4)嚙合,小軸(5)和大軸(6)分別是小齒輪(3)和大齒輪(4)的中心軸,所述小齒輪(3)和大齒輪(4)鑲嵌于齒輪箱(2)內部,大齒輪(4)的端面有大齒輪凸臺(24),大齒輪凸臺(24)的端面有均勻分布的通孔,用于固定被夾器件;通過旋轉小齒輪(3),使小齒輪(3)帶動大齒輪(4)轉動,大齒輪(4)同時帶動固定于其上的器件轉動,器件得以切換工作面。
2.根據權利要求1所述的一種引線鍵合夾具,其特征在于:所述固定軸(1)通過直角轉向板(8)與齒輪箱(2)固定連接,固定軸(1)的頂面與直角轉向板(8)的水平面固定連接,齒輪箱(2)的背面與直角轉向板(8)的鉛垂面固定連接,從而使夾具的工作方向為水平方向。
3.根據權利要求1所述的一種引線鍵合夾具,其特征在于:所述齒輪箱(2)包括箱體(13)和箱蓋(14),箱體(13)的背面開有小軸孔(15)和大軸孔(16),箱蓋(14)上開有小凸臺孔(17)和大凸臺孔(18),箱體(13)與箱蓋(14)固定連接,小軸(5)穿過小軸孔(15)和小凸臺孔(17),大齒輪凸臺(24)鑲嵌于大凸臺孔(18)內。
4.根據權利要求3所述的一種引線鍵合夾具,其特征在于:所述箱蓋(14)頂面靠近外端面處有固定螺絲(25)穿過,固定螺絲(25)的直徑小于箱體(13)厚度的一半,所述箱蓋(14)的厚度大于大齒輪凸臺(24)厚度和固定螺絲(25)的直徑之和;鍵合工藝進行中,固定螺絲(25)與被夾器件外表面貼緊,待單個工作面的鍵合完成后,擰開固定螺絲(25),待工作面切換完成后,再次擰緊固定螺絲(25),從而使固定螺絲(25)起到進一步固定夾具的作用。
5.根據權利要求3所述的一種引線鍵合夾具,其特征在于:所述小軸(5)突出于箱蓋(14)的外表面處套有旋鈕把手(26),所述旋鈕把手(26)一端穿過小軸(5)直至小齒輪凸臺的端面,另一端為旋鈕(27);轉動旋鈕(27)使小齒輪轉動。
6.根據權利要求5所述的一種引線鍵合夾具,其特征在于:所述旋鈕把手(26)靠近箱蓋(14)一端有垂直于旋鈕把手(26)軸向的第一標記(29),箱蓋(14)外表面靠近小凸臺孔(17)處也有相同的垂直于箱蓋表面的第二標記(30);未切換工作面之前,第一標記(29)和第二標記(30)距離最近,需切換工作面是,使旋鈕(27)轉動一周,第一標記(29)和第二標記(30)再次位于距離最近處,表明工作面切換完成。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





