[發(fā)明專利]搬運(yùn)裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201110291047.4
• 申請日: 2011-09-14
• 公開（公告）號: CN102765573A
• 公開（公告）日: 2012-11-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 中川雅之
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社大福
• 主分類號: B65G1/04
• 分類號: B65G1/04
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 田*;楊楷

1.一種搬運(yùn)裝置，具有：

行走保持體，所述行走保持體能夠保持著收納容器而行走，所述收納容器中收納沿上下方向?qū)盈B的圓板形基板，且在側(cè)面形成供基板出入用的開口；

防跳出機(jī)構(gòu)，所述防跳出機(jī)構(gòu)用于防止基板從保持在所述行走保持體上的所述收納容器的所述開口跳出，

所述防跳出機(jī)構(gòu)具有接觸體，該接觸體能夠移動到與保持在所述行走保持體上的所述收納容器中收納的基板的側(cè)面接觸的接觸位置和脫離基板的側(cè)面的脫離位置，

所述接觸位置設(shè)定為：所述接觸體在基板出入方向上位于所述收納容器中收納的基板的開口側(cè)端部與中央部之間。

2.如權(quán)利要求1所述的搬運(yùn)裝置，其特征在于，

所述行走保持體以所述開口向著與行走方向交叉的橫向的姿勢來保持所述收納容器。

3.如權(quán)利要求1或2所述的搬運(yùn)裝置，其特征在于，

所述防跳出機(jī)構(gòu)具有：一對所述接觸體，所述一對接觸體相對于所述收納容器中收納的基板上與基板出入方向正交的寬度方向的中央部而位于其兩側(cè)；移動操作機(jī)構(gòu)，所述移動操作機(jī)構(gòu)使所述一對接觸體沿所述寬度方向相互接近而移動到所述接觸位置，并使所述一對接觸體沿所述寬度方向相互遠(yuǎn)離而移動到所述脫離位置。

4.如權(quán)利要求1或2所述的搬運(yùn)裝置，其特征在于，

所述行走保持體具有：保持部，所述保持部保持所述收納容器；行走自如的行走部，所述行走部支撐所述保持部且使之自由升降，通過所述行走部的行走和所述升降部的升降來將所述收納容器搬運(yùn)到容器搬運(yùn)目標(biāo)部位，

所述防跳出機(jī)構(gòu)受所述保持部支撐。

5.如權(quán)利要求1或2所述的搬運(yùn)裝置，其特征在于，

所述行走保持體具有：保持部，所述保持部保持所述收納容器；行走自如的行走部，所述行走部支撐所述保持部且使之自由升降，通過所述行走部的行走和所述升降部的升降來將所述收納容器搬運(yùn)到容器搬運(yùn)目標(biāo)部位，

所述防跳出機(jī)構(gòu)受所述行走部支撐，

所述接觸體能夠在所述保持部升降移動到行走用位置的狀態(tài)下移動到所述接觸位置和所述脫離位置。

6.如權(quán)利要求1或2所述的搬運(yùn)裝置，其特征在于，

作為所述收納容器的搬運(yùn)目的地的容器搬運(yùn)目標(biāo)部位與對基板進(jìn)行處理的處理裝置相鄰設(shè)置，

所述行走保持體以所述開口向著所述處理裝置一側(cè)的姿勢來保持所述收納容器。

7.如權(quán)利要求1或2所述的搬運(yùn)裝置，其特征在于，

所述防跳出機(jī)構(gòu)上用于對所述接觸體進(jìn)行移動操作的移動操作機(jī)構(gòu)具有使所述接觸體移動到所述接觸位置和所述脫離位置的促動器。