[發(fā)明專利]基于雙軸柔性鉸鏈的高頻響二維微角擺控制反射鏡

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201110290112.1
• 申請(qǐng)日: 2011-09-28
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102323656A
• 公開(kāi)（公告）日: 2012-01-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 譚久彬;李結(jié)安;崔繼文;朱凡
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 哈爾濱工業(yè)大學(xué)
• 主分類(lèi)號(hào): G02B7/182
• 分類(lèi)號(hào): G02B7/182;G02B7/198
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.一種基于雙軸柔性鉸鏈的高頻響二維微角擺控制反射鏡，其特征在于：在底座(4)上端面上固裝雙軸柔性鉸鏈(5)，剛性平臺(tái)(2)垂直置于雙軸柔性鉸鏈(5)的輸出端上，且繞雙軸柔性鉸鏈(5)發(fā)生二維微角度偏轉(zhuǎn)，由底座(4)、雙軸柔性鉸鏈(5)和剛性平臺(tái)(2)構(gòu)成二維偏轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)；反射鏡(1)固配在剛性平臺(tái)(2)上端面上，反射鏡(1)、剛性平臺(tái)(2)、雙軸柔性鉸鏈(5)與底座(4)中心共軸；驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)由四個(gè)壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器(3)、相應(yīng)的壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)電源(8)及緊固件(7)構(gòu)成，其中四個(gè)壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器(3)通過(guò)緊固件(7)均布配裝在底座(4)上，且相對(duì)應(yīng)的兩個(gè)壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器(4)構(gòu)成一組，兩組壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器(4)分別相對(duì)于雙軸柔性鉸鏈(5)的正交偏轉(zhuǎn)軸對(duì)稱設(shè)置；四個(gè)位移傳感器(6)和計(jì)算機(jī)系統(tǒng)(9)構(gòu)成控制系統(tǒng)，所述的四個(gè)位移傳感器(6)相對(duì)于雙軸柔性鉸鏈(5)對(duì)稱配裝在底座(4)上，且與剛性平臺(tái)(2)接觸配合；導(dǎo)線分別將位移傳感器(6)與計(jì)算機(jī)系統(tǒng)(9)主機(jī)、計(jì)算機(jī)系統(tǒng)(9)主機(jī)與壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)電源(8)、壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)電源(8)與壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器(3)連通。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于雙軸柔性鉸鏈的高頻響二維微角擺控制反射鏡，其特征在于壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器(3)和壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)電源(8)分別為電致伸縮驅(qū)動(dòng)器和驅(qū)動(dòng)源、或者磁致伸縮驅(qū)動(dòng)器和驅(qū)動(dòng)源、或者音圈電機(jī)驅(qū)動(dòng)器和驅(qū)動(dòng)源。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于雙軸柔性鉸鏈的高頻響二維微角擺控制反射鏡，其特征在于位移傳感器(6)為電容傳感器、或者電感傳感器、或者電渦流傳感器。