[發(fā)明專利]互連件區(qū)域有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201110289839.8 | 申請(qǐng)日： | 2011-09-20 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN102412231A | 公開（公告）日： | 2012-04-11 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 凱爾·K·柯比;菲利普·J·愛爾蘭 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 美光科技公司 |
| 主分類號(hào)： | H01L23/528 | 分類號(hào)： | H01L23/528;H01L23/532 |
| 代理公司： | 北京律盟知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11287 | 代理人： | 宋獻(xiàn)濤 |
| 地址： | 美國(guó)愛*** | 國(guó)省代碼： | 美國(guó);US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 互連 區(qū)域 | ||
1.一種互連件區(qū)域，其沿橫截面包括：
閉合形狀的內(nèi)部區(qū)域，其中具有導(dǎo)電材料；
第一電介質(zhì)材料，其被配置為完全圍繞所述內(nèi)部區(qū)域的橫向外圍延伸的襯里；及
至少兩個(gè)電介質(zhì)突出部，其接合到所述電介質(zhì)材料襯里且從所述內(nèi)部區(qū)域橫向向外；所述電介質(zhì)突出部具有環(huán)繞內(nèi)電介質(zhì)區(qū)域的外電介質(zhì)環(huán)；所述外電介質(zhì)環(huán)由所述第一電介質(zhì)材料組成且所述內(nèi)電介質(zhì)區(qū)域包括不同于所述第一電介質(zhì)材料的組合物的組合物。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的互連件區(qū)域，其中所述內(nèi)電介質(zhì)區(qū)域組合物為氣體的。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的互連件區(qū)域，其中所述閉合形狀大致具有跨越平面的鏡面對(duì)稱性，所述平面沿正交于所述橫截面的方向延伸穿過所述閉合形狀的中心；且其中所述突出部呈不具有所述鏡面對(duì)稱性的布置。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的互連件區(qū)域，其中所述閉合形狀與突出部共同形成大致具有沿軸的旋轉(zhuǎn)對(duì)稱性的結(jié)構(gòu)，所述軸沿正交于所述橫截面的方向延伸且延伸穿過所述結(jié)構(gòu)的中心。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的互連件區(qū)域，其中所述閉合形狀大致具有沿軸的旋轉(zhuǎn)對(duì)稱性，所述軸沿正交于所述橫截面的方向延伸穿過所述閉合形狀的中心；且其中所述突出部呈不具有所述旋轉(zhuǎn)對(duì)稱性的布置。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的互連件區(qū)域，其中所述突出部為大致三角形形狀。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的互連件區(qū)域，其中個(gè)別突出部包括球形區(qū)域及桿區(qū)域，其中所述桿區(qū)域直接接合到所述襯里。
8.一種互連件區(qū)域，其沿橫截面包括：
大致圓形內(nèi)部區(qū)域，其中具有含銅互連件；
第一電介質(zhì)材料，其被配置為完全圍繞所述互連件的橫向外圍延伸的襯里；及
至少兩個(gè)大致三角形形狀的電介質(zhì)突出部，其接合到所述電介質(zhì)材料襯里且從所述內(nèi)部區(qū)域橫向向外；所述電介質(zhì)突出部具有環(huán)繞內(nèi)電介質(zhì)區(qū)域的外電介質(zhì)環(huán)；所述外電介質(zhì)環(huán)由所述第一電介質(zhì)材料組成且所述內(nèi)電介質(zhì)區(qū)域包括不同于所述第一電介質(zhì)材料的組合物的組合物。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的互連件區(qū)域，其中所述大致圓形內(nèi)部區(qū)域與突出部共同形成大致具有跨越平面的鏡面對(duì)稱性的結(jié)構(gòu)，所述平面沿正交于所述橫截面的方向延伸且延伸穿過所述結(jié)構(gòu)的中心。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的互連件區(qū)域，其中所述大致圓形內(nèi)部區(qū)域大致具有跨越平面的鏡面對(duì)稱性，所述平面沿正交于所述橫截面的方向延伸穿過所述大致圓形內(nèi)部區(qū)域的中心；且其中所述三角形形狀的突出部呈不具有所述鏡面對(duì)稱性的布置。
11.根據(jù)權(quán)利要求8所述的互連件區(qū)域，其中所述大致圓形內(nèi)部區(qū)域大致具有沿軸的旋轉(zhuǎn)對(duì)稱性，所述軸沿正交于所述橫截面的方向延伸穿過所述大致圓形內(nèi)部區(qū)域的中心；且其中所述三角形形狀的突出部呈不具有所述旋轉(zhuǎn)對(duì)稱性的布置。
12.根據(jù)權(quán)利要求8所述的互連件區(qū)域，其中所述內(nèi)電介質(zhì)區(qū)域組合物為氣體的。
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