[發明專利]光學微腔生化傳感器

無效

• 申請號: 201110289307.4
• 申請日: 2011-09-27
• 公開（公告）號: CN102506911A
• 公開（公告）日: 2012-06-20
• 發明（設計）人: 張曉光;吳遠大;王玥;張家順;安俊明;王紅杰;李建光;胡雄偉
• 申請（專利權）人: 中國科學院半導體研究所
• 主分類號: G01D5/26
• 分類號: G01D5/26;G01N21/41
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 湯保平

1.一種光學微腔傳感器，包括：

一第一3dB光分束器和一第二3dB光分束器；

一傳感微腔，該傳感微腔的一側與第一3dB光分束器的端口1耦合，該傳感微腔的另一側與第二3dB光分束器的端口1耦合；

一參考微腔，該參考微腔的一側與第一3dB光分束器的端口2耦合，該參考微腔的另一側與第二3dB光分束器的端口2耦合；

一樣品槽，該樣品槽用于容置傳感微腔；

一參考槽，該參考槽用于容置參考微腔；

其中傳感微腔與參考微腔的自由頻譜寬不同，入射光由第一3dB光分束器輸入，經分束后分別與傳感微腔和參考微腔相耦合；耦合進入傳感微腔和參考微腔的光分別耦合進入第二3dB光分束器的端口1和端口2，兩束光經第二3dB光分束器干涉后作為傳感信號輸出。

2.根據權利要求1所述的光學微腔生化傳感器，其中傳感微腔是微環、微盤、微球或光子晶體微腔。

3.根據權利要求1所述的光學微腔生化傳感器，其中參考微腔是微環、微盤、微球或光子晶體微腔。

4.根據權利要求1所述的光學微腔生化傳感器，其中傳感微腔與第一3dB光分束器端口1的耦合是基于倏逝波耦合，其耦合方式為橫向耦合或者垂直耦合。

5.根據權利要求1所述的光學微腔生化傳感器，其中傳感微腔與第二3dB光分束器端口1的耦合是基于倏逝波耦合，其耦合方式為橫向耦合或者垂直耦合。

6.根據權利要求1所述的光學微腔生化傳感器，其中參考微腔與第一3dB光分束器端口2的耦合是基于倏逝波耦合，其耦合方式為橫向耦合或者垂直耦合。

7.根據權利要求1所述的光學微腔生化傳感器，其中參考微腔與第二3dB光分束器端口2的耦合是基于倏逝波耦合，其耦合方式為橫向耦合或者垂直耦合。

8.根據權利要求1-7任一項所述的光學微腔生化傳感器，其中用于制作該光學微腔生化的材料是SOI、有機物或者硅基二氧化硅。