[發明專利]反應源配送裝置

無效

• 申請號: 201110288427.2
• 申請日: 2011-09-26
• 公開（公告）號: CN103014670A
• 公開（公告）日: 2013-04-03
• 發明（設計）人: 甘志銀;王亮
• 申請（專利權）人: 甘志銀
• 主分類號: C23C16/455
• 分類號: C23C16/455;C23C16/52
• 代理公司: 上海市華誠律師事務所 31210
• 代理人: 李平

1.一種反應源配送裝置，包括：化學原料鋼瓶、流量控制器、壓力計、壓力控制器，反應所需的源物質以液態或固態形式存儲存在化學原料鋼瓶內，其特征在于所述壓力控制器的入口端通入載氣，插入化學原料鋼瓶底部的入口管道與壓力控制器的出口端連接，壓力計經管道與化學原料鋼瓶輸出端連接以測量化學原料鋼瓶出口處的壓力，壓力計與壓力控制器的控制端經電路連接，流量控制器的進口端經管道插入化學原料鋼瓶內的上部，化學原料鋼瓶的輸出管道與多個流量控制器的進口端相連接，流量控制器的出口端經管道接入反應室。

2.根據權利要求1所述的反應源配送裝置，其特征在于所述載氣為氫氣、氮氣、氬氣。

3.根據權利要求1所述的反應源配送裝置，其特征在于所述化學原料鋼瓶出口端經輸出管道與一個或數個流量控制器的進口端連接。

4.根據權利要求1或3所述的反應源配送裝置，其特征在于所述流量控制器的出口端通過管道分別接入一個或數個反應室。

5.根據權利要求1所述的反應源配送裝置，其特征在于所述壓力計測量化學原料鋼瓶出口處的壓力，壓力計的測量范圍為0～2000torr。

6.根據權利要求1所述的反應源配送裝置，其特征在于所述壓力計直接測量化學原料鋼瓶內部上方的壓力，壓力計的測量范圍為0～2000torr。

7.根據權利要求1所述的反應源配送裝置，其特征在于所述壓力計所測壓力信號直接或經控制單元傳遞給壓力控制器的控制端構成閉環控制。

8.根據權利要求1所述的反應源配送裝置，其特征在于所述壓力控制器為比例控制閥門，經外部控制電路及預置的算法實現閉環控制。