[發(fā)明專利]一種外延片退火方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201110288045.X
• 申請(qǐng)日: 2011-09-26
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103021844A
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-04-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 柯創(chuàng)基;張旺
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 比亞迪股份有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/324
• 分類號(hào): H01L21/324
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.一種外延片退火方法，其特征在于，所述方法包括以下步驟：

S1、提供一個(gè)外延片，在外延片的p型氮化物表面布置至少一個(gè)導(dǎo)電球，所述導(dǎo)電球與外延片的p型氮化物表面緊密接觸，然后將導(dǎo)電球與退火爐內(nèi)的低壓交流電電極連接；

S2、在退火爐內(nèi)通入N₂和O₂的混合氣體，將退火爐內(nèi)的溫度升到800-1000℃的高溫狀態(tài)；

S3、打開(kāi)退火爐傳送門(mén)，將放置有外延片的載物臺(tái)快速推進(jìn)退火爐內(nèi)并關(guān)閉，讓外延片在通有交流電的短時(shí)間高溫狀態(tài)下完成退火；

S4、將退火爐的溫度降到450-650℃的低溫狀態(tài)，提高O₂在混合氣體中所占的比例；

S5、讓外延片在通有交流電的低溫狀態(tài)下完成退火，然后將退火爐傳送門(mén)打開(kāi)，取出外延片。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的外延片退火方法，其特征在于，在步驟S1中，所述導(dǎo)電球?yàn)殂熐颉⒔鹎蚝豌y球中的一種。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的外延片退火方法，其特征在于，所述導(dǎo)電球?yàn)殂熐颍ㄟ^(guò)按壓將銦球布置在外延片的p型氮化物表面。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的外延片退火方法，其特征在于，在步驟S1中，所述外延片的p型氮化物表面布置有四個(gè)導(dǎo)電球，該四個(gè)導(dǎo)電球分布于外延片半徑的四個(gè)平分點(diǎn)上。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的外延片退火方法，其特征在于，在步驟S1中，所述外延片的p型氮化物表面布置有八個(gè)導(dǎo)電球，該八個(gè)導(dǎo)電球分布于外延片半徑的八個(gè)平分點(diǎn)上。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的外延片退火方法，其特征在于，在步驟S1中，所述低壓交流電電極的電壓為5-15伏。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的外延片退火方法，其特征在于，在步驟S2中，所述O₂在混合氣體中所占的體積比為2-5%。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的外延片退火方法，其特征在于，在步驟S3中，所述外延片在高溫狀態(tài)下退火的時(shí)間為30-60秒。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的外延片退火方法，其特征在于，在步驟S4中，所述O₂在混合氣體中所占的體積比為35-50%。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的外延片退火方法，其特征在于，在步驟S5中，所述外延片在低溫狀態(tài)下退火的時(shí)間為3-6分鐘。