[發(fā)明專(zhuān)利]一種平板電極固定結(jié)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201110287921.7
• 申請(qǐng)日: 2011-09-26
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102290312A
• 公開(kāi)（公告）日: 2011-12-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 席峰;李勇滔;李楠;張慶釗;夏洋
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 中國(guó)科學(xué)院微電子研究所
• 主分類(lèi)號(hào): H01J37/32
• 分類(lèi)號(hào): H01J37/32
• 代理公司: 北京市德權(quán)律師事務(wù)所 11302
• 代理人: 劉麗君

1.一種平板電極固定結(jié)構(gòu)，包括絕緣支撐，其特征在于，所述絕緣支撐上設(shè)置有多個(gè)進(jìn)氣孔，上電極和下電極圍繞所述進(jìn)氣孔均勻分布。

2.如權(quán)利要求1所述的平板電極固定結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述上電極和下電極均為金屬電極。

3.如權(quán)利要求2所述的平板電極固定結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述金屬電極的材料為石墨、鉬、鍍鋅鋁、不銹鋼、鋁合金或無(wú)氧銅。

4.如權(quán)利要求1所述的平板電極固定結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述絕緣支撐的厚度為5～1000mm。

5.如權(quán)利要求1所述的平板電極固定結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述絕緣支撐由絕緣材料制成。

6.如權(quán)利要求5所述的平板電極固定結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述絕緣材料為陶瓷、石英、聚四氟或聚碳酸酯。

7.如權(quán)利要求1所述的平板電極固定結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述上電極和下電極之間施加的射頻電源頻率為0～10GHz。

8.如權(quán)利要求1所述的平板電極固定結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述上電極和下電極之間的距離為2～1000mm。

9.如權(quán)利要求1所述的平板電極固定結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述上電極和下電極的面積直徑為20～3000mm。