[發(fā)明專(zhuān)利]一種離子中性化網(wǎng)板無(wú)效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201110287917.0 | 申請(qǐng)日： | 2011-09-26 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN102339715A | 公開(kāi)（公告）日： | 2012-02-01 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 席峰;李勇滔;李楠;張慶釗;夏洋 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人： | 中國(guó)科學(xué)院微電子研究所 |
| 主分類(lèi)號(hào)： | H01J37/32 | 分類(lèi)號(hào)： | H01J37/32;H05H3/00 |
| 代理公司： | 北京市德權(quán)律師事務(wù)所 11302 | 代理人： | 劉麗君 |
| 地址： | 100029 *** | 國(guó)省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 離子 中性 化網(wǎng)板 | ||
1.一種離子中性化網(wǎng)板，其特征在于，所述離子中性化網(wǎng)板為臺(tái)階式結(jié)構(gòu)，所述離子中性化網(wǎng)板上設(shè)置有多個(gè)網(wǎng)孔。
2.如權(quán)利要求1所述的離子中性化網(wǎng)板，其特征在于，所述離子中性化網(wǎng)板為圓形離子中性化網(wǎng)板，所述圓形離子中性化網(wǎng)板的直徑為20～5000mm。
3.如權(quán)利要求1所述的離子中性化網(wǎng)板，其特征在于，所述圓形離子中性化網(wǎng)板打孔區(qū)域?yàn)閳A形，所述圓形區(qū)域的直徑為5-600mm。
4.如權(quán)利要求1所述的離子中性化網(wǎng)板，其特征在于，所述圓形離子中性化網(wǎng)板分為2～6個(gè)扇形區(qū)域，每個(gè)扇形區(qū)域采用薄絕緣層隔離。
5.如權(quán)利要求4所述的離子中性化網(wǎng)板，其特征在于，所述絕緣層的材料為聚四氟或陶瓷。
6.如權(quán)利要求1所述的離子中性化網(wǎng)板，其特征在于，所述離子中性化網(wǎng)板的厚度為0.1-500mm。
7.如權(quán)利要求1所述的離子中性化網(wǎng)板，其特征在于，所述網(wǎng)孔的直徑為
0.1-50mm。
8.如權(quán)利要求1所述的離子中性化網(wǎng)板，其特征在于，所述離子中性化網(wǎng)板由電極材料制成。
9.如權(quán)利要求8所述的離子中性化網(wǎng)板，其特征在于，所述電極材料為石墨、銅、鉬或鍍鋅鋁。
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