[發明專利]一種光伏玻璃薄膜濺鍍的簡易靶材更換臺車裝置無效
| 申請號： | 201110287517.X | 申請日： | 2011-09-26 |
| 公開（公告）號： | CN103014636A | 公開（公告）日： | 2013-04-03 |
| 發明（設計）人： | 周文彬;劉幼海;劉吉人 | 申請（專利權）人： | 吉富新能源科技(上海)有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/34 | 分類號： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 201707 上海市*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 玻璃 薄膜 簡易 更換 臺車 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種光伏玻璃薄膜濺鍍的簡易靶材更換臺車裝置，其特征在于設置的靶材框架，長1700mm、寬300mm、厚15mm長方形中空結構。
2.根據權利要求1所述之一種光伏玻璃薄膜濺鍍的簡易靶材更換臺車裝置，其特征在于靶材框架尾端設置定位插銷。
3.根據權利要求1所述之一種光伏玻璃薄膜濺鍍的簡易靶材更換臺車裝置，其特征在于靶材框架固定于雙向蝸輪減速機軸心，雙向蝸輪減速機軸向連接手動搖輪。
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