[發明專利]散熱元件及散熱元件的處理方法

有效

• 申請號: 201110285682.1
• 申請日: 2011-09-23
• 公開（公告）號: CN102479915A
• 公開（公告）日: 2012-05-30
• 發明（設計）人: 王正全;顏佳瑩;陳興華
• 申請（專利權）人: 財團法人工業技術研究院
• 主分類號: H01L33/64
• 分類號: H01L33/64;H01L33/00
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 陳小雯

1.一種散熱元件，包括：

金屬本體，其主要材質為鋁，該金屬本體的表面具有多個微納米孔，該些微納米孔的孔徑小于300納米。

2.如權利要求1所述的散熱元件，其中該金屬本體的材質為鋁、或是鋁合金。

3.如權利要求1所述的散熱元件，其中該金屬本體的表面形成有一金屬氧化層，且該金屬氧化層具有該些微納米孔。

4.如權利要求3所述的散熱元件，其中該金屬氧化層的厚度小于15微米。

5.如權利要求3所述的散熱元件，其中該金屬氧化層的厚度為3微米至15微米。

6.如權利要求3所述的散熱元件，其中該金屬氧化層的厚度為5微米至10微米。

7.如權利要求3所述的散熱元件，其中該金屬氧化層的材質包括氧化鋁、鋁氧化合物或上述的組合。

8.如權利要求1所述的散熱元件，其中該些微納米孔的孔徑為5納米至300納米。

9.如權利要求1所述的散熱元件，其中該些微納米孔的孔徑為20納米至80納米。

10.如權利要求1所述的散熱元件，其中該金屬本體包括一底座以及連接于該底座的多個鰭片。

11.如權利要求1所述的散熱元件，還包括多個納米金屬，填充于該些微納米孔中。

12.如權利要求11所述的散熱元件，其中該納米金屬的材質包括選自由鎳、銅、鈀、銀、金、鉑、鈷、錫、鉻、鋅、鐵、鉬、鎘、硒以及上述的合金中至少其中一者所組成的群組。

13.一種散熱元件的處理方法，包括：

提供一金屬本體，其主要材質為鋁；

氧化該金屬本體的表面；以及

進行一蝕刻制作工藝以在該金屬本體的表面上形成多個微納米孔，其中該些微納米孔的孔徑小于300納米。

14.如權利要求13所述的散熱元件的處理方法，其中氧化該金屬本體的表面的方法包括使用硫酸、草酸或上述的組合所構成的水溶液將該金屬本體的表面氧化。

15.如權利要求13所述的散熱元件的處理方法，其中該蝕刻制作工藝所使用的蝕刻溶液包括硫酸、草酸、磷酸或其組合所構成的水溶液。

16.如權利要求13所述的散熱元件的處理方法，還包括進行一電鍍制作工藝以形成多個納米金屬，填充于該些微納米孔中。