[發明專利]紅外光譜干涉儀和采用該干涉儀的紅外光譜儀

有效

• 申請號: 201110285531.6
• 申請日: 2011-09-23
• 公開（公告）號: CN102359818A
• 公開（公告）日: 2012-02-22
• 發明（設計）人: 曾立波;張新民;吳瓊水
• 申請（專利權）人: 北京華夏科創儀器技術有限公司
• 主分類號: G01J3/45
• 分類號: G01J3/45;G01J3/02
• 代理公司: 北京海虹嘉誠知識產權代理有限公司 11129
• 代理人: 張濤

1.一種紅外光譜干涉儀，其特征在于，包括發出平行光線的光源(1)，在所述平行光線的前 進方向上設置有分束鏡(2)，在分束鏡(2)的透射光路上依次設置有補償鏡(3)、可沿其光 軸方向移動的動立體角鏡(8)和固定的第一平面鏡(6)，透射光透過所述補償鏡(3)經動 立體角鏡(8)反射到第一平面鏡(6)上，所述第一平面鏡(6)將入射光沿原路反射回動立 體角鏡(8)并進一步透過補償鏡(3)返回分束鏡(2)，分束鏡(2)將其反射至檢測器(4)； 在分束鏡(2)的反射光路上依次設置有固定的定立體角鏡(7)和固定的第二平面鏡(5)， 反射光束經定立體角鏡(7)反射到第二平面鏡(5)上，所述第二平面鏡(5)將入射光線沿 原路反射回分束鏡(2)并透過分束鏡(2)投射至檢測器(4)；其中的分束鏡(2)的鍍有分 束膜的面平行于所述第二平面鏡(5)和第一平面鏡(6)構成的夾角的角平分線，第二平面 鏡(5)垂直于定立體角鏡(7)的光軸，第一平面鏡(6)垂直于動立體角鏡(8)的光軸， 所述補償鏡(3)平行于所述分束鏡(2)設置，且與所述分束鏡(2)同材質、等厚度，所述 光源(1)的平行光線經分束鏡(2)后的透射光平行于動立體角鏡(8)的光軸，所述光源(1) 的平行光線經分束鏡(2)的反射光線平行于定立體角鏡(7)的光軸。

2.根據權利要求1所述的紅外光譜干涉儀，其特征在于，所述分束鏡(2)的鍍有分束膜的面 位于第二平面鏡(5)和第一平面鏡(6)構成的夾角的角平分線上。

3.根據權利要求1或2所述的紅外光譜干涉儀，其特征在于，所述第二平面鏡(5)和第一平 面鏡(6)構成45°-135°夾角。

4.根據權利要求3所述的紅外光譜干涉儀，其特征在于，所述第二平面鏡(5)和第一平面鏡 (6)構成90°或60°的夾角。

5.根據權利要求3或4所述的紅外光譜干涉儀，其特征在于，所述第一平面鏡(6)的一端和 第二平面鏡(5)的一端相接，所述第一平面鏡(6)的遠離第二平面鏡(5)的另一端位于動 立體角鏡(8)的光軸上，所述第二平面鏡(5)的遠離第一平面鏡(6)的另一端位于定立體 角鏡(7)的光軸上。

6.根據權利要求5所述的紅外光譜干涉儀，其特征在于，用鍍有金屬膜的直角棱鏡(9)取代 第二平面鏡(5)和第一平面鏡(6)，所述直角棱鏡(9)的兩個直角面分別相當于第一平面 鏡(6)和第二平面鏡(5)。

7.根據權利要求6所述的紅外光譜干涉儀，其特征在于，還包括有光學單體結構(10)，所述 光學單體結構(10)包括有殼體結構和固定在殼體結構內的所述直角棱鏡(9)、所述分束鏡 (2)和所述補償鏡(3)。

8.根據權利要求7所述的紅外光譜干涉儀，其特征在于，所述光學單體結構(10)還包括立 柱(11)和鏡體支撐結構(12)，所述殼體結構包括上頂(13)和下底(14)，所述直角棱鏡 (9)通過上頂(13)和下底(14)固定在殼體結構的一端，所述立柱(11)通過上頂(13) 和下底(14)固定在殼體結構的相對的另一端，所述分束鏡(2)和補償鏡(3)固定在鏡體 支撐結構(12)上，所述鏡體支撐結構(12)固定在殼體結構內并所述分束鏡(2)的鍍有分 束膜的面平行于直角棱鏡(9)的兩個直角面的夾角的角平分線或所述分束鏡(2)的鍍有分 束膜的面位于直角棱鏡(9)的兩個直角面的夾角的角平分線上。

9.根據權利要求8所述的紅外光譜干涉儀，其特征在于，所述殼體結構、立柱(11)和鏡體 支撐結構(12)采用與所述分束鏡(2)的熱膨脹系數相近的光學材料，其中的熱膨脹系數相 近是指熱膨脹系數的差值小于2.0×10^-6K^-1。

10.根據權利要求7至9之一所述的紅外光譜干涉儀，其特征在于，還包括干涉儀殼體(15) 和直線驅動電機(16)，所述光學單體結構(10)、定立體角鏡(7)、動立體角鏡(8)和直線 驅動電機(16)均位于所述干涉儀殼體(15)內部，所述直線驅動電機(16)用于驅動動立 體角鏡(8)沿其光軸方向左右移動。