[發明專利]一種多晶硅提純鑄錠爐控制系統

無效

• 申請號: 201110283170.1
• 申請日: 2011-09-22
• 公開（公告）號: CN103014848A
• 公開（公告）日: 2013-04-03
• 發明（設計）人: 李榮華
• 申請（專利權）人: 吳江億泰光伏設備有限公司
• 主分類號: C30B28/06
• 分類號: C30B28/06;C30B29/06;G05D23/22
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種多晶硅提純鑄錠爐控制系統，其特征在于，其分為全自動控制系統和手動控制系統兩部分，全自動控制系統分為抽真空檢漏和自動運行兩部分，所述抽真空檢漏，通過PLC可編程控制器，依次打開機組和氣動閥門，在抽到極限真空后保壓來判斷是否檢漏通過；自動運行是處理元件根據配方中的步驟來給PLC可編程控制器信號使其按部運行，自動運行分為預熱階段、熔化階段、提純階段、長晶階段、退火階段和冷卻階段六個階段。

2.根據權利要求1所述的一種多晶硅提純鑄錠爐控制系統，其特征在于，所述多晶硅提純鑄錠爐控制系統，由處理元件和PLC可編程控制器來實現的，所述的處理元件即是連接著加熱系統、氣路系統和各路報警系統，所述PLC可編程控制器控制各種電磁閥、泵的開關量、行程控制量和工控機操作系統；所述加熱系統是由中頻加熱經過熱電偶和溫控儀來監控中頻大小來實現溫度控制的；所述氣路系統是由油污器和回流板組成，通過電磁閥來控制氣動開關，從而實現氣動元件的開關；所述報警系統是有漏硅報警、溫度報警、氬氣量報警、水溫報警、水流量報警、氣壓報警、爐內壓力報警和通信錯誤報警等來實現的。

3.根據權利要求1所述的一種多晶硅提純鑄錠爐控制系統，其特征在于，所述預熱階段處理單元根據配方來給PLC可編程控制器信號，使隔熱門與坩堝到位，在通過對中頻功率的逐步調節來達到穩步升溫的效果，當溫度達到1175℃時進入溶化階段。

4.根據權利要求1所述的一種多晶硅提純鑄錠爐控制系統，其特征在于，所述預熱階段處理單元根據配方來給PLC可編程控制器信號，使隔熱門與坩堝到位，在通過對中頻功率的逐步調節來達到穩步升溫的效果，當溫度達到1175℃時進入溶化階段。

5.根據權利要求1所述的一種多晶硅提純鑄錠爐控制系統，其特征在于，所述溶化階段處理元件根據配方給PLC可編程控制器信號從而使溫度通過熱電偶來控制，使溫度在規定的時間內達到1560℃；提純階段處理元件根據配方給PLC可編程控制器信號從而使溫度維持在1500℃以上，進行提純。

6.根據權利要求1所述的一種多晶硅提純鑄錠爐控制系統，其特征在于，所述長晶階段處理元件接收熱電偶的信號，從而給PLC可編程控制器信號，對溫度進行精確的控制，同時可編程控制器下降坩堝和隔熱門，從而達到下部有一個相對冷區，從而達到結晶的目的。

7.根據權利要求1所述的一種多晶硅提純鑄錠爐控制系統，其特征在于，所述退火階段通過PLC可編程控制器使隔熱門與坩堝回到零位，在通過處理元件使硅錠上下溫度保持均勻，消除硅錠內部應力。

8.根據權利要求1所述的一種多晶硅提純鑄錠爐控制系統，其特征在于，所述冷卻階段通過處理元件使加熱功率下降，最大能力內消除殘余應力，通過PLC可編程控制器打開質量流量控制器和真空擋板閥充入氬氣加速冷卻。

9.根據權利要求1所述的一種多晶硅提純鑄錠爐控制系統，其特征在于，所述手動操作是全自動系統的輔助和修復。