[發(fā)明專利]一種用于測量低波數(shù)拉曼信號的裝置

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201110283004.1
• 申請日: 2011-09-22
• 公開（公告）號: CN102445273A
• 公開（公告）日: 2012-05-09
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 譚平恒;韓文鵬;厲巧巧
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所
• 主分類號: G01J3/44
• 分類號: G01J3/44
• 代理公司: 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021
• 代理人: 周國城

1.一種用于測量低波數(shù)拉曼信號的裝置，其特征在于，該裝置包括：

激發(fā)光源(LS)；

體光柵帶通濾光片(VGBF)，位于激光光路上，用于過濾掉激光的等離子線而純化激光線，同時將激發(fā)光源(LS)發(fā)出的激光反射到第一體光柵陷波濾光片(VG1)；

第一體光柵陷波濾光片(VG1)，位于體光柵帶通濾光片(VGBF)將激光反射后的光路上，將激光反射到顯微物鏡(OB1)；

顯微物鏡(OB1)，用于將由第一體光柵陷波濾光片(VG1)反射來的激光聚焦到樣品(SMP)上來激發(fā)拉曼光譜信號；

第二體光柵陷波濾光片(VG2)和第三體光柵陷波濾光片(VG3)，位于樣品拉曼信號光經(jīng)顯微物鏡(OB1)收集并穿過體光柵陷波濾光片(VG1)之后的光路上；

三個支撐底座(BS1、BS2和BS3)，分別用來固定第一體光柵陷波濾光片(VG1)、第二體光柵陷波濾光片(VG2)和第三體光柵陷波濾光片(VG3)；

聚焦透鏡(OB2)，用于將由第三體光柵陷波濾光片(VG3)透過來的拉曼信號匯聚入單光柵光譜儀(SPEC)的入口；以及

單光柵光譜儀(SPEC)，用于收集拉曼信號。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于測量低波數(shù)拉曼信號的裝置，其特征在于，所述體光柵帶通濾光片(VGBF)的帶寬小于10波數(shù)，衍射效率大于90％。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于測量低波數(shù)拉曼信號的裝置，其特征在于，所述第一體光柵帶通濾光片(VG1)、第二體光柵陷波濾光片(VG2)和第三體光柵陷波濾光片(VG3)的帶寬均小于10波數(shù)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于測量低波數(shù)拉曼信號的裝置，其特征在于，所述第一體光柵帶通濾光片(VG1)、第二體光柵陷波濾光片(VG2)和第三體光柵陷波濾光片(VG3)的衰減均大于99.9％。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于測量低波數(shù)拉曼信號的裝置，其特征在于，所述三個支撐底座(BS1、BS2和BS3)用于在水平方向和豎直方向精細(xì)地調(diào)節(jié)三個體光柵陷波濾光片的角度，將三個體光柵陷波濾光片的工作波長調(diào)節(jié)到與激發(fā)光波長一致。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于測量低波數(shù)拉曼信號的裝置，其特征在于，所述體光柵帶通濾光片(VGBF)以及三個體光柵陷波濾光片(VG1、VG2和VG3)的工作波長與激發(fā)光源(LS)發(fā)出的激光波長相匹配。