[發(fā)明專(zhuān)利]制備高透過(guò)率氮化鈦鍍膜玻璃的方法

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201110282492.4
• 申請(qǐng)日: 2011-09-22
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102432190A
• 公開(kāi)（公告）日: 2012-05-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 趙高凌;吳玲;張?zhí)觳?/a>;韓高榮
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 浙江大學(xué)
• 主分類(lèi)號(hào): C03C17/22
• 分類(lèi)號(hào): C03C17/22
• 代理公司: 杭州求是專(zhuān)利事務(wù)所有限公司 33200
• 代理人: 韓介梅

1.?制備高透過(guò)率氮化鈦鍍膜玻璃的方法，其特征在于步驟如下：

1）將經(jīng)過(guò)清洗的玻璃基片放入氣相沉積反應(yīng)室，反應(yīng)室抽真空，通入N₂清洗反應(yīng)室；

2）反應(yīng)室加熱至600℃，將N₂、NH₃和預(yù)熱到41.2℃的TiCl₄以惰性氣體為載氣通入反應(yīng)室，控制N₂：NH₃：TiCl₄的流量比為300:?25:?3，保持反應(yīng)室中的壓力在－0.02兆帕，在玻璃基片上沉積氮化鈦薄膜層，反應(yīng)時(shí)間90s，然后關(guān)閉氣路，再抽真空至－0.02兆帕，將樣品自然冷卻至室溫，在空氣氣氛下于400-600℃熱處理15-120min。