[發明專利]多晶硅鑄錠坩堝噴涂免燒結方法

有效

• 申請號: 201110281457.0
• 申請日: 2011-09-21
• 公開（公告）號: CN102367572A
• 公開（公告）日: 2012-03-07
• 發明（設計）人: 熊濤濤;馬良;印亞峰;劉瑞柱;王俊濤
• 申請（專利權）人: 安陽市鳳凰光伏科技有限公司
• 主分類號: C23C20/08
• 分類號: C23C20/08;C30B28/06;C30B29/06
• 代理公司: 安陽市智浩專利代理事務所 41116
• 代理人: 王好勤

1.多晶硅鑄錠坩堝噴涂免燒結方法，其特征在于包括以下步驟：a在坩堝內壁上刷一層硅溶膠－凝膠混合物，混合物中，硅溶膠20－100克，硅凝膠500－1200克；涂刷硅溶膠-凝膠后形成一層很薄的玻璃結構層；b將氮化硅放入純凈水中，按370－420克氮化硅加純凈水1000－1800毫升，攪拌均勻，形成氮化硅懸浮液；c將氮化硅懸浮液噴涂于硅溶膠－凝膠混合物的玻璃結構層表面。

2.根據權利要求1所述的多晶硅鑄錠坩堝噴涂免燒結方法，其特征在于：所述b步驟中，純凈水為去離子純水，電阻率為10～18兆歐姆。

3.根據權利要求1所述的多晶硅鑄錠坩堝噴涂免燒結方法，其特征在于：?所述b步驟中，氮化硅加純凈水攪拌，指在常溫下攪拌20－40分鐘。

4.根據權利要求1所述的多晶硅鑄錠坩堝噴涂免燒結方法，其特征在于：?所述c步驟的氮化硅懸浮液噴涂，在坩堝內壁處于35－65℃的溫度的情況下進行。

5.根據權利要求1或3所述的多晶硅鑄錠坩堝噴涂免燒結方法，其特征在于：所述氮化硅指高純單晶氮化硅，其粗細均勻、表面光滑，直徑5～80nm。

6.根據權利要求1所述的多晶硅鑄錠坩堝噴涂免燒結方法，其特征在于：所述硅溶膠-凝膠混合物為直徑為1～100nm的膠體粒子懸浮液。

7.根據權利要求1或6所述的多晶硅鑄錠坩堝噴涂免燒結方法，其特征在于：所述凝膠是指由亞微米微孔和平均長度大于1um的聚合鏈構成的剛性互連網狀結構，pH在4～7之間形成凝膠。

8.根據權利要求1或6所述的多晶硅鑄錠坩堝噴涂免燒結方法，其特征在于：所述硅溶膠-凝膠，采取正硅酸乙酯進行水解、縮聚而成，制備步驟如下：

a按正硅酸乙酯：乙醇：（水+催化劑）=1：3：（10：0.01）摩爾比關系，分別稱取正硅酸乙酯、乙醇、水和催化劑；

b將正硅酸乙酯、乙醇混合；

c將含催化劑的去離子水緩慢加到上述混合溶液中，磁力攪拌器劇烈攪拌1h到2h，便可得到溶膠；

d在催化劑的催化下0.5h到1h內形成凝膠。

9.根據權利要求8所述的多晶硅鑄錠坩堝噴涂免燒結方法，其特征在于：所述正硅酸乙酯的純度為優級純；乙醇為溶度99.7%無水酒精；水要求為去離子純水，電阻率10兆到18兆；催化劑為鹽酸要求優級純、溶度35%-38%。