[發(fā)明專利]線陣CCD的一種抗暈結(jié)構(gòu)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201110281168.0
• 申請日: 2011-09-21
• 公開（公告）號: CN102290427A
• 公開（公告）日: 2011-12-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 汪朝敏;劉昌舉;白雪平
• 申請（專利權(quán)）人: 中國電子科技集團(tuán)公司第四十四研究所
• 主分類號: H01L27/148
• 分類號: H01L27/148
• 代理公司: 重慶輝騰律師事務(wù)所 50215
• 代理人: 侯懋琪;侯春樂

1.線陣CCD的一種抗暈結(jié)構(gòu)，包括：設(shè)置在第一結(jié)構(gòu)層（Ⅰ）上的存儲柵（2）和抗暈柵（4），設(shè)置在第二結(jié)構(gòu)層（Ⅱ）上的N區(qū)信道（1）、N-溢出勢壘區(qū)（4-1）和抗暈漏（3），第一結(jié)構(gòu)層（Ⅰ）和第二結(jié)構(gòu)層（Ⅱ）之間通過SiO₂（5）層隔離；位置互相匹配的一條存儲柵（2）、一條N區(qū)信道（1）和一個(gè)N-溢出勢壘區(qū)（4-1）即形成一個(gè)信號單元；位置相互對應(yīng)的一個(gè)抗暈漏（3）和一條抗暈柵（4）即形成一個(gè)抗暈單元；位置互相對應(yīng)的一個(gè)信號單元和一個(gè)抗暈單元即形成一個(gè)像元，多個(gè)像元按線陣排列組成線陣CCD；

其特征在于：在第二結(jié)構(gòu)層（Ⅱ）上，每間隔兩個(gè)信號單元設(shè)置一抗暈單元，由抗暈單元兩側(cè)的信號單元共用一個(gè)抗暈單元；

具體來說：設(shè)有位置順次排列的第一信號單元、第一抗暈單元和第二信號單元，第一信號單元和第二信號單元共用第一抗暈單元，第一信號單元和第一抗暈單元即形成第一像元，第二信號單元和第一抗暈單元即形成第二像元；

第一信號單元和第二信號單元各自對應(yīng)一個(gè)N-溢出勢壘區(qū)（4-1），兩個(gè)N-溢出勢壘區(qū)（4-1）之間設(shè)置有一N型摻雜區(qū)（3-2），N型摻雜區(qū)（3-2）用于抑制第一像元和第二像元內(nèi)的信號相互溢出。