[發(fā)明專利]四氟化硅的制備方法無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201110280075.6 | 申請日： | 2011-09-20 |
| 公開（公告）號： | CN102351198A | 公開（公告）日： | 2012-02-15 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 張月和;薛明;蔡春立;李青娟;李占良;孫仲剛;竇義虎 | 申請（專利權(quán)）人： | 六九硅業(yè)有限公司 |
| 主分類號： | C01B33/107 | 分類號： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227 | 代理人： | 逯長明 |
| 地址： | 071051 河*** | 國省代碼： | 河北;13 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 氟化 制備 方法 | ||
1.一種四氟化硅的制備方法，包括以下步驟：
a)液態(tài)氟化氫與Si源在濃硫酸的作用下反應(yīng)，得到四氟化硅。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述步驟a)具體包括：
a1)將Si源與濃硫酸混合均勻；
a2)向所述步驟a1)得到的混合物中加入液態(tài)氟化氫，反應(yīng)后得到四氟化硅。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的制備方法，其特征在于，所述步驟a1)具體包括：
將Si源與濃硫酸混合，混合均勻后進(jìn)行加熱。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的制備方法，其特征在于，所述加熱的溫度為60℃～120℃。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述濃硫酸的濃度為80％以上。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述Si源中的Si、濃硫酸與液態(tài)氟化氫的摩爾比為1∶(3～10)∶(1～5)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述反應(yīng)的溫度為60℃～120℃。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述液態(tài)氟化氫按照以下方法制備：
含NaAlF4原料與硫酸反應(yīng)，得到混合氣體；
將所述混合氣體提純、液化后，得到液態(tài)氟化氫。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的制備方法，其特征在于，所述含NaAlF4原料中NaAlF4與硫酸的摩爾比為1∶(1～5)。
10.根據(jù)權(quán)利要求1～9任意一項所述的制備方法，其特征在于，所述Si源為硅石粉和石英砂中的一種或兩種。
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