[發(fā)明專利]一種銅化學(xué)機(jī)械拋光組合物

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201110279927.X
• 申請日: 2011-09-20
• 公開（公告）號: CN102329572A
• 公開（公告）日: 2012-01-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 顧忠華;龔樺;王寧;潘國順
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳市力合材料有限公司;清華大學(xué);深圳清華大學(xué)研究院
• 主分類號: C09G1/02
• 分類號: C09G1/02;C23F3/04
• 代理公司: 北京眾合誠成知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11246
• 代理人: 薄觀玖

1.一種銅化學(xué)機(jī)械拋光組合物，包括磨粒、氧化劑、絡(luò)合劑、拋光促進(jìn)劑和pH調(diào)節(jié)劑，其特征在于：還包括長鏈緩蝕劑和表面活性劑；其中，

所述長鏈緩蝕劑為十二烷基苯并三唑磺酸鹽；

所述表面活性劑為聚馬來酸、聚丙烯酸、聚丙烯酰胺、辛基酚聚氧乙烯醚、脂肪醇聚氧乙烯醚硫酸鈉、壬基酚聚氧乙醚、脂肪醇聚氧乙烯醚、FSN-100杜邦氟碳表面活性劑、羥甲基纖維素鈉、羥乙基纖維素、羥乙基纖維素鈉或羧甲基纖維素中的一種或幾種。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的組合物，其特征在于：所述十二烷基苯并三唑磺酸鹽為十二烷基苯并三唑磺酸鈉、十二烷基苯并三唑磺酸銨或十二烷基苯并三唑磺酸鉀中的一種或幾種。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的組合物，其特征在于：長鏈緩蝕劑的重量百分比為0.005％～0.2％；表面活性劑的重量百分比為0.001％～0.1％。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的組合物，其特征在于：所述磨粒為氧化硅、氧化鋁、氧化鈰的一種或幾種，磨粒的粒徑均在20～100nm范圍內(nèi)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的組合物，其特征在于：所述氧化劑為過氧化氫、過氧化氫脲、過氧乙酸、過氧化苯甲酰、過硫酸鉀、過硫酸銨、高錳酸鉀、高氯酸鉀、次氯酸鉀、鐵氰化鉀、硝酸銨或硝酸鐵中的一種或幾種。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的組合物，其特征在于：所述絡(luò)合劑為氨基乙酸、丙氨酸、谷氨酸、脯氨酸、天冬氨酸、絲氨酸、羥谷氨酸、羥基乙叉二膦酸、氨基三甲叉膦酸、2-羥基膦?；宜?、乙酸、草酸、蘋果酸、乙二胺、乙二胺四乙酸、乙二胺四乙酸二鈉、乙二胺四乙酸四鈉或草酰胺的一種或幾種。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的組合物，其特征在于：所述拋光促進(jìn)劑為磷酸氫二銨、氟化鈉、磷酸氫鈉或檸檬酸鉀中的一種或幾種。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的組合物，其特征在于：所述pH調(diào)節(jié)劑為硝酸、磷酸、氫氧化鈉、氫氧化鉀、三乙醇胺或乙醇胺中的一種或幾種。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的組合物，其特征在于：所述組合物的pH值為2.0～6.0。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的組合物，其特征在于：磨粒的重量百分比為0.2％～10％，氧化劑的重量百分比為0.1％～10％，絡(luò)合劑的重量百分比為0.05％～2％，拋光促進(jìn)劑的重量百分比為0.05％～1％。