[發明專利]一種基于MEMS掃描微鏡的高分辨率微型紅外光譜儀

無效

• 申請號: 201110279802.7
• 申請日: 2011-09-20
• 公開（公告）號: CN102359949A
• 公開（公告）日: 2012-02-22
• 發明（設計）人: 溫志渝;張中衛;曾甜玲;陳剛;魏康林
• 申請（專利權）人: 重慶大學
• 主分類號: G01N21/35
• 分類號: G01N21/35;G01J3/02;G01J3/06
• 代理公司: 重慶華科專利事務所 50123
• 代理人: 康海燕

1.一種基于MEMS掃描微鏡的高分辨率微型紅外光譜儀，它是由光纖連接裝置（1）和/或入射狹縫（2）、準直反射鏡（3）、掃描微鏡（4）、閃耀光柵（5）、球面聚焦反射鏡、出射狹縫（8）和紅外探測器組成；所述光纖（1）設置在入射狹縫（2）前，入射狹縫（2）設置于準直反射鏡（3）的焦平面附近，在準直反射鏡（3）反射的平行光路中設置掃描微鏡（4），在掃描微鏡（4）的反射光路中設置閃耀光柵（5）；

其特征在于：所述球面聚焦反射鏡采用兩個，所述紅外探測器采用一個單元紅外探測器（9）；一個球面聚焦反射鏡（6）設置在閃耀光柵（5）的衍射光路上，另一球面聚焦反射鏡（7）相對于前一球面聚焦反射鏡（6）呈小于90°夾角布置，在球面聚焦反射鏡（7）的聚焦點上設置出射狹縫（8），出射狹縫（8）的出射光路上布置單元紅外探測器（9）；光束經閃耀光柵（5）衍射分光后經球面聚焦反射鏡（6）、（7）聚焦成像并通過出射狹縫（8）入射到單元紅外探測器（9）上。

2.?根據權利要求1所述微型紅外光譜儀，其特征在于：所述掃描微鏡（4）是采用MEMS技術制造且具有可繞固定中心軸周期性擺動鏡面的微型光學元件。

3.?根據權利要求1或2所述微型紅外光譜儀，其特征在于：所述單元探測器（9）為高靈敏度的非致冷或制冷型光電探測器或光導探測器。

4.?根據權利要求3所述微型紅外光譜儀，其特征在于：光纖連接裝置是FC端口光纖連接器，或是SMA端口光纖連接器。