[發(fā)明專利]一種干法刻蝕堅硬無機材料基板ICP刻蝕機的預(yù)真空腔

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201110279580.9
• 申請日: 2011-09-20
• 公開（公告）號: CN102368473A
• 公開（公告）日: 2012-03-07
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李超波;黃成強;陳波;饒志鵬
• 申請（專利權(quán)）人: 嘉興科民電子設(shè)備技術(shù)有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/677
• 代理公司: 浙江杭州金通專利事務(wù)所有限公司 33100
• 代理人: 趙芳;徐關(guān)壽

1.?一種干法刻蝕堅硬無機材料基板ICP刻蝕機的預(yù)真空腔，包括腔體，所述腔體上安裝有腔蓋，所述腔蓋上開有片盤取放口，所述片盤取放口處設(shè)置有蓋子，所述腔體的一側(cè)面上開有片盤進出口，所述片盤進出口處設(shè)有閥門，所述腔體上設(shè)有用于與機械泵連接的機械泵接口、用于與進氣管道連接的進氣管道接口，其特征在于：所述腔體內(nèi)底面上開有導(dǎo)軌槽，所述導(dǎo)軌槽內(nèi)安裝有沿其運動的導(dǎo)軌器，所述導(dǎo)軌器上連接有輸送片盤的機械手；所述導(dǎo)軌器與帶動其運動的絲桿連接，所述絲桿可轉(zhuǎn)動的安裝在腔體內(nèi)，其一端穿出腔體與伺服電機連接，所述伺服電機固定在腔體的底部。

2.??根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種干法刻蝕堅硬無機材料基板ICP刻蝕機的預(yù)真空腔，其特征在于：所述導(dǎo)軌器的寬度與導(dǎo)軌槽相等，所述導(dǎo)軌器的長度小于導(dǎo)軌槽的長度。

3.??根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種干法刻蝕堅硬無機材料基板ICP刻蝕機的預(yù)真空腔，其特征在于：所述腔蓋與腔體通過螺釘固定，并通過密封圈密封。

4.??根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種干法刻蝕堅硬無機材料基板ICP刻蝕機的預(yù)真空腔，其特征在于：所述腔蓋與蓋子之間設(shè)有密封槽。

5.??根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種干法刻蝕堅硬無機材料基板ICP刻蝕機的預(yù)真空腔，其特征在于：所述絲桿與腔體之間是采用磁流體密封。

6.??根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種干法刻蝕堅硬無機材料基板ICP刻蝕機的預(yù)真空腔，其特征在于：所述絲桿固定安裝在腔體內(nèi)的絲桿固定器上。

7.??根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種干法刻蝕堅硬無機材料基板ICP刻蝕機的預(yù)真空腔，其特征在于：所述腔體與伺服電機、機械泵、絲桿固定器、進氣管道、閥門均是螺紋連接。