[發(fā)明專利]一種空間光調(diào)制器中心與相機(jī)中心空間位置的標(biāo)定方法

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201110276573.3
• 申請(qǐng)日: 2011-09-19
• 公開（公告）號(hào): CN102314097A
• 公開（公告）日: 2012-01-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李顯杰;畢娟
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 合肥芯碩半導(dǎo)體有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/20
• 分類號(hào): G03F7/20;G03F9/00
• 代理公司: 安徽合肥華信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 34112
• 代理人: 方琦

1.一種無掩膜光刻系統(tǒng)的空間光調(diào)制器中心與相機(jī)中心空間相對(duì)位置的標(biāo)定方法，包括投影模塊，投影模塊包含曝光光源、空間光調(diào)制器、安裝于移動(dòng)平臺(tái)上的基底，曝光光源、空間光調(diào)制器之間安裝有光學(xué)集光系統(tǒng)；電機(jī)控制移動(dòng)平臺(tái)三維移動(dòng)，其特征在于：空間光調(diào)制器與基底之間設(shè)有傾斜的分束器與透鏡，分束器的反射光進(jìn)入成像模塊中的CCD相機(jī)，CCD相機(jī)外接人工智能模塊和計(jì)算機(jī)；

標(biāo)定方法包括以下步驟：

1）曝光光源發(fā)出的光經(jīng)過光學(xué)集光系統(tǒng)，將定位標(biāo)記圖形投影至空間光調(diào)制器上，使得定位標(biāo)記的中心與空間光調(diào)制器中心重合，經(jīng)空間光調(diào)制器反射后，經(jīng)過分束器及透鏡，投影至基底表面成像；

2）投射基底上的反射光經(jīng)過所述分束器反射后，被CCD相機(jī)接收，并由CCD相機(jī)實(shí)時(shí)采集基底上定位標(biāo)記圖形的信息傳輸至計(jì)算機(jī)；

3）計(jì)算機(jī)所采集的定位標(biāo)記圖形，以相機(jī)的坐標(biāo)系為基準(zhǔn)，利用人工智能模塊計(jì)算定位標(biāo)記中心與相機(jī)中心的偏差△x，△y；

4）通過移動(dòng)移動(dòng)平臺(tái)或改變空間上光分布的振幅、強(qiáng)度、相位的方法來補(bǔ)償空間光調(diào)制器中心與相機(jī)中心的位置偏差，使得CCD相機(jī)接收到的定位標(biāo)記中心與相機(jī)中心重合。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種無掩膜光刻系統(tǒng)的空間光調(diào)制器中心與相機(jī)中心空間相對(duì)位置的標(biāo)定方法，其特征在于：所述計(jì)算機(jī)的反饋系統(tǒng)連接有控制器，所述控制器分別與空間光調(diào)制器、曝光光源、電機(jī)連接。