[發(fā)明專利]壓力測量單元

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201110274847.5
• 申請日: 2011-07-26
• 公開（公告）號: CN102564682A
• 公開（公告）日: 2012-07-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: J·雅各布;M·梅勒爾特;J·費(fèi)倫巴赫;T·德克;T·科普
• 申請（專利權(quán)）人: VEGA格里沙貝兩合公司
• 主分類號: G01L19/06
• 分類號: G01L19/06;G01L9/00
• 代理公司: 中國國際貿(mào)易促進(jìn)委員會專利商標(biāo)事務(wù)所 11038
• 代理人: 沈英瑩

1.用于對測量壓力進(jìn)行測量的壓力測量單元(1)，包括具有至少一個(gè)基體電極(4、5)的基體(2)以及包括與基體(2)連接而構(gòu)成傳感器室(10)的膜片體(3)，該膜片體具有至少一個(gè)膜片電極(6)并且能被處在測量壓力下的介質(zhì)施加壓力，其中，傳感器室(10)的由基體(2)形成的壁和傳感器室(10)的由膜片體(3)形成的壁用保護(hù)層(7、8)覆蓋，其特征在于，所述保護(hù)層(7、8)構(gòu)造成玻璃層。

2.按權(quán)利要求1所述的壓力測量單元(1)，其特征在于，所述基體(2)的整個(gè)表面用玻璃層(7)覆蓋，所述至少一個(gè)基體電極(4、5)構(gòu)造在所述基體的表面上。

3.按權(quán)利要求1或2所述的壓力測量單元(1)，其特征在于，膜片體(3)的整個(gè)表面用玻璃層(8)覆蓋，所述至少一個(gè)膜片電極(6)構(gòu)造在所述膜片體的表面上。

4.按權(quán)利要求1、2或3所述的壓力測量單元(1)，其特征在于，基體(2)和膜片體(3)在邊緣側(cè)借助于制造成玻璃焊料的間隔墊片(9)相互連接。

5.按前述權(quán)利要求之一所述的壓力測量單元(1)，其特征在于，壓力測量單元(1)構(gòu)造成相對壓力測量單元，其中，傳感器室(10)具有通風(fēng)孔(11)，所述傳感器室通過所述通風(fēng)孔能夠被施加基準(zhǔn)壓力。