[發(fā)明專利]一種防止反應(yīng)室反氣的裝置及方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201110273693.8
• 申請日: 2011-09-15
• 公開（公告）號: CN102337519A
• 公開（公告）日: 2012-02-01
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 劉波波;王省蓮;張超奇;陳明
• 申請（專利權(quán)）人: 西安中為光電科技有限公司
• 主分類號: C23C16/44
• 分類號: C23C16/44
• 代理公司: 西安智大知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 61215
• 代理人: 弋才富

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于MOCVD生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種防止反應(yīng)室反氣的裝置及方法。

背景技術(shù)

MOCVD是金屬有機化合物化學氣相淀積(Metal-organic?Chemical?Vapor?Deposition)的英源使用文縮寫，在MOCVD生產(chǎn)中，正常情況下，反應(yīng)室壓力為20torr，尾氣泵壓力為760torr，通過尾氣泵將反應(yīng)后的尾氣抽出。但由于事故等原因引起緊急停電時，尾氣泵會停止工作，此時反應(yīng)室和尾氣泵之間產(chǎn)生負壓，導(dǎo)致尾氣從尾氣泵回流至反應(yīng)室而產(chǎn)生反氣，這種反氣會污染反應(yīng)室，對生產(chǎn)設(shè)備影響很大。目前解決方案主要是采用UPS(可持續(xù)電源)，通過UPS的短時間可持續(xù)供電來應(yīng)急，但對于MOCVD這種大型設(shè)備，需UPS的蓄電量很大才能滿足要求，而且UPS價格昂貴。

發(fā)明內(nèi)容

為了克服上述現(xiàn)有技術(shù)的缺點，本發(fā)明的目的在于提供一種防止反應(yīng)室反氣的裝置及方法，采用該裝置及方法，當發(fā)生緊急停電時，能夠在第一時間將尾氣阻擋在反應(yīng)室外邊，防止反應(yīng)室被污染，具有結(jié)構(gòu)及操作簡單、價格低廉、節(jié)約能源的特點。

為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用的技術(shù)方案是：

一種防止反應(yīng)室反氣的裝置，包括有反應(yīng)室1，和反應(yīng)室1相連通的尾氣泵7，在反應(yīng)室1和尾氣泵7之間設(shè)有單向閥6。

一種防止反應(yīng)室反氣的裝置，包括有反應(yīng)室1，和反應(yīng)室1相連通的尾氣泵7，具體連接方式也可是在反應(yīng)室1與尾氣泵6之間依次設(shè)有第一手動球閥2、過濾器3、第二手動球閥4、蝶閥5，在蝶閥5和尾氣泵7之間設(shè)有單向閥6。

所述單向閥6為氣流只能一個方向流動而不能反向流動的方向控制閥。

所述單向閥6的正向壓差大于25torr。

所述單向閥6的材料為不銹鋼材料。

一種防止反應(yīng)室反氣的方法，在反應(yīng)室1和尾氣泵7之間安裝單向閥6。

在安裝單向閥6前清理干凈連接的接口。

本發(fā)明的裝置及方法通過在反應(yīng)室1和尾氣泵7之間安裝一個單向閥6來解決反氣問題，利用單向閥6的單向?qū)ㄔ恚敯l(fā)生緊急停電時，尾氣泵7停止工作，單向閥6可以防止尾氣從尾氣泵7回流至反應(yīng)室1，防止反應(yīng)室1被污染，該裝置和方法具有結(jié)構(gòu)及操作簡單、價格低廉、節(jié)約能源的特點。

附圖說明

附圖為本發(fā)明裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖對本發(fā)明作進一步詳細說明。

如附圖所示，本發(fā)明一種防止反應(yīng)室反氣的裝置，包括有反應(yīng)室1，反應(yīng)室1與尾氣泵7相連通，在反應(yīng)室1與尾氣泵7之間依次設(shè)有第一手動球閥2、過濾器3、第二手動球閥4、蝶閥5，在蝶閥5和尾氣泵7之間設(shè)有單向閥6，反應(yīng)室1用于生長外延片，維修或清理反應(yīng)室1和過濾器3時分別用第一手動球閥2和第二手動球閥4來隔離，蝶閥5的作用是控制壓力，尾氣泵7是用來抽反應(yīng)室氣體，控制反應(yīng)室1的壓力。

本發(fā)明一種防止反應(yīng)室反氣的方法，在反應(yīng)室1和尾氣泵7之間安裝單向閥6，該單向閥6安裝在蝶閥5和尾氣泵7之間，在安裝單向閥6前清理干凈連接的接口，以防止氣體內(nèi)漏。

本發(fā)明的工作原理是：通過在反應(yīng)室1和尾氣泵7之間安裝一個單向閥6來解決反氣問題，利用單向閥的單向?qū)ㄔ恚敯l(fā)生緊急停電時，尾氣泵7停止工作，設(shè)在蝶閥5與尾氣泵7之間的單向閥6可以防止尾氣從尾氣泵回流至反應(yīng)室而產(chǎn)生反氣，防止反應(yīng)室1被污染。