[發明專利]一種用于燃料敏化太陽能電池的透明電極無效
| 申請號： | 201110272602.9 | 申請日： | 2011-09-15 |
| 公開（公告）號： | CN103000382A | 公開（公告）日： | 2013-03-27 |
| 發明（設計）人： | 尹桂林;姜來新;宋佳;李文英;何丹農 | 申請（專利權）人： | 上海納米技術及應用國家工程研究中心有限公司 |
| 主分類號： | H01G9/04 | 分類號： | H01G9/04;H01G9/20;H01M14/00;H01L51/44 |
| 代理公司： | 上海東方易知識產權事務所 31121 | 代理人： | 唐莉莎 |
| 地址： | 200241 *** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 用于 燃料 太陽能電池 透明 電極 | ||
【權利要求書】：
1.一種用于燃料敏化太陽能電池的透明電極，其特征在于，在常用導電透明電極表面沉積氧化鋅納米薄膜。
2.根據權利要求1所述一種用于燃料敏化太陽能電池的透明電極，其特征在于，所述氧化鋅米薄膜的沉積方法為原子層沉積方法。
3.根據權利要求1所述一種用于燃料敏化太陽能電池的透明電極，其特征在于，所述的氧化鋅納米薄膜厚度為5～50nm。
4.根據權利要求1或2或3所述一種用于燃料敏化太陽能電池的透明電極的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：
A.將導電透明電極基板進行預處理并放入原子層沉積反應室，將反應室真空抽至5hPa～15hPa，將反應室溫度加熱至100℃～300℃；
B.向沉積室中引入二乙基鋅，持續時間為1秒，將氮氣或惰性氣體通入反應室，以清除未被基底化學吸附的殘余氣體，持續時間為3秒；
C.向沉積室中引入水蒸汽，持續時間為1秒，沉積得到單層氧化鋅，沉積結束后再用高純氮氣清洗沉積室，持續時間為3秒；
D.根據厚度要求，循環步驟B、C，反復沉積以獲得一種用于燃料敏化太陽能電池的透明電極。
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