[發明專利]襯底交接裝置以及襯底交接方法

無效

• 申請號: 201110272260.0
• 申請日: 2011-09-09
• 公開（公告）號: CN102442542A
• 公開（公告）日: 2012-05-09
• 發明（設計）人: 相馬康孝;井本直樹
• 申請（專利權）人: 東京毅力科創株式會社
• 主分類號: B65G47/52
• 分類號: B65G47/52;B65G49/06
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇

技術領域

本發明涉及一種襯底交接裝置以及襯底交接方法，更詳細地說，涉及一種例如將平板顯示器襯底(FPD襯底)等襯底從輥式輸送機上交接到輸送臂或者將輸送臂上的襯底交接到輥式輸送機上的襯底交接裝置以及襯底交接方法。

背景技術

以往，作為這種襯底交接裝置已知具有圖1示出的結構的襯底交接裝置。圖1是將輥式輸送機上的襯底G交接到輸送臂的襯底交接裝置的代表性的概要截面圖(a)、概要俯視圖(b)。

以往的襯底交接裝置具備輥式輸送機，該輥式輸送機形成為在軸方向上隔著適當間隔來并聯排列具有驅動輥56的驅動軸55而配置在架臺50上，能夠使用未圖示的驅動馬達和傳遞機構使驅動輥56和驅動軸55進行轉動。另外，在該襯底交接裝置中，前端具有球狀輥62的多個升降銷63被配置于相鄰的驅動軸55之間，各升降銷63形成為例如能夠通過由氣缸或者馬達與齒輪的組合形成的升降機構(未圖示)而升降。并且，與輥式輸送機上的襯底G的四角相抵接而進行定位的對準機構60形成為能夠通過未圖示的升降機構與升降銷63同時上升。

具有上述結構的襯底交接裝置通過以下過程使用輸送臂的叉子101將襯底G交接到處理單元(未圖示)。即，在輸送臂與輸送方向正交的情況下，將從輸送路徑上游輥式輸送過來的襯底G使用輸送臂的叉子101來交接到處理單元。

下面，參照圖2來說明襯底G的交接過程。首先，如圖2的(a)所示，從輸送路徑上游通過驅動輥56旋轉而輸送襯底G。此時，將各驅動軸55和驅動輥56同一平面狀地并列地進行配置而同步地進行旋轉。當光傳感器S檢測襯底G的下游側端部時，來自光傳感器S的檢測信號被傳遞到未圖示的控制單元，根據來自控制單元的控制信號在經過規定時間之后驅動輥56停止而襯底G也停止。

接著，如圖2的(b)所示，升降銷63上升而襯底G被舉起。此時，對準機構60也與升降銷63同時上升而處于升降銷63上方，對準機構60與襯底G的四角相抵接而進行定位。

接著，如圖2的(c)所示，輸送臂的四個叉子101經過與升降銷63不干涉的空間從襯底G的下側起隔著規定空間插入之后，保持襯底G。如圖2的(c)所示，作為保持襯底G的方法有輸送臂上升或者輸送臂停止而升降銷63下降的方法。

接著，如圖2的(d)所示，在升降銷63和對準機構60下降之后，叉子101沿X軸方向返回，將襯底交接到下一個處理單元。

在圖1以及圖2中以從與襯底G的輸送方向正交的X方向交接來進行了說明，但是如圖1的(a)中的點劃線所示，還可以將輸送臂的叉子101從與輸送方向串聯的下游的Y軸方向進行插入來交接。在這種情況下，輸送臂的叉子102被從與升降銷62不干涉的方向插入而將襯底交接到處理單元。

這樣，在輥式輸送機與輸送臂之間交接襯底是使用升降銷來進行的。

作為上述襯底交接裝置的其它結構已知以下襯底交接裝置即將配置于相鄰驅動軸之間的推桿銷繞鉛垂軸轉動以及在鉛垂方向上升降，在與輸送輥之間交接襯底(例如參照專利文獻1)。

在專利文獻1所述的襯底交接裝置中，配置于相鄰的驅動軸之間的推桿銷具有：基部，其與輸送輥的軸方向相關聯，在與輸送輥相比靠外的位置沿鉛垂方向進行立設；水平臂部，其從該基部的上端起彎曲為直角；以及襯底支承部，其在該水平臂部的前端沿鉛垂方向立起，在其前端以點接觸的方式支承襯底的背面。另外，上述基部形成為能夠通過驅動機構而使其繞鉛垂軸轉動以及在鉛垂方向上升降。

另外，作為其它襯底交接裝置已知具有以下結構的襯底交接裝置：在與驅動軸形成直角的方向的一個直線上并列設置多個驅動輥，驅動輥與在驅動輥的下方沿一個直線設置的傳動部構成輥式輸送機模塊，以輥式輸送機模塊的長度方向與襯底輸送方向平行的方式在與襯底輸送方向形成直角的直角方向上設置多個輥式輸送機模塊，在輥式輸送機模塊的驅動輥上的襯底下方、在多個輥式輸送機模塊之間、沿襯底輸送方向設置能夠讓機械手進入的空間(例如參照專利文獻2)。

在專利文獻2所述的襯底交接裝置中，從與襯底輸送方向串列的下游的方向進行交接，將機械手插入到上述輥式輸送機模塊之間的空間，將襯底交接到處理單元。

專利文獻1：日本特開平10-310240號公報

專利文獻2：日本特開2009-176858號公報

發明內容

發明要解決的問題