[發明專利]縱型熱處理裝置

有效

• 申請號: 201110272028.7
• 申請日: 2011-09-09
• 公開（公告）號: CN102437070A
• 公開（公告）日: 2012-05-02
• 發明（設計）人: 吉井弘治;山口達也;王文凌;齋藤孝規
• 申請（專利權）人: 東京毅力科創株式會社
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇

1.一種熱處理裝置，其特征在于，具備：

爐本體；

加熱器，其設置在爐本體內周面；

處理容器，其配置在爐本體內，與爐本體之間形成空間，并且在該處理容器內部收納多個被處理體；

鼓風機，其經由冷卻介質供給線連接于爐本體，向爐本體與處理容器之間的空間供給冷卻介質；

排氣管，其設置于爐本體；

爐內溫度傳感器，其檢測處理容器內部或者外部的溫度；以及

控制裝置，其控制加熱器和鼓風機，調整處理容器內的溫度來使處理容器內的溫度收斂為規定的目標溫度，

其中，上述控制裝置具有：預先確定的數值模型，其與加熱器輸出和鼓風機輸出相關；加熱器輸出運算部，其根據上述數值模型和來自爐內溫度傳感器的爐內溫度來求出加熱器輸出；以及鼓風機輸出運算部，其根據上述數值模型和來自爐內溫度傳感器的爐內溫度來求出鼓風機輸出。

2.根據權利要求1所述的熱處理裝置，其特征在于，

數值模型具有加熱器輸出用數值模型和鼓風機輸出用數值模型，

加熱器輸出運算部根據加熱器輸出用數值模型和來自爐內溫度傳感器的爐內溫度來求出加熱器輸出，

鼓風機輸出運算部根據鼓風機輸出用數值模型和來自爐內溫度傳感器的爐內溫度來求出鼓風機輸出。

3.根據權利要求1所述的熱處理裝置，其特征在于，

控制裝置還具有將來自鼓風機輸出運算部的鼓風機輸出轉換為冷卻介質流量的流量控制運算部。

4.根據權利要求3所述的熱處理裝置，其特征在于，

流量控制運算部根據冷卻介質流量來進行鼓風機的轉速控制。

5.根據權利要求1所述的熱處理裝置，其特征在于，

在排氣管中設置有排氣溫度傳感器，

控制裝置還具有：追加鼓風機輸出運算部，其用對來自排氣溫度傳感器的排氣溫度進行跟隨的設定溫度來確定追加鼓風機輸出；以及

鼓風機輸出合計部，其對來自鼓風機輸出運算部的鼓風機輸出和來自追加鼓風機輸出運算部的追加鼓風機輸出進行合計。

6.一種熱處理裝置，其特征在于，具備：

爐本體，其劃分為多個區域；

加熱器，其設置在爐本體的各區域的內周面；

處理容器，其配置在爐本體內，與爐本體之間形成空間，并且在該處理容器內部收納多個被處理體；

鼓風機，其經由冷卻介質供給線連接于爐本體的各區域，向爐本體與處理容器之間的空間供給冷卻介質；

排氣管，其設置在爐本體的各區域；

爐內溫度傳感器，其檢測與爐本體的各區域相對應的處理容器的內部或者外部的溫度；以及

控制裝置，其控制與各區域相對應的加熱器和鼓風機，調整處理容器內的溫度來使處理容器內的溫度收斂為規定的目標溫度，

其中，上述控制裝置具有：預先確定的各區域的數值模型，其與加熱器輸出和鼓風機輸出相關；加熱器輸出運算部，其根據與該區域相對應的數值模型和來自爐內溫度傳感器的爐內溫度來求出該區域的加熱器輸出；以及鼓風機輸出運算部，其根據與該區域相對應的數值模型和來自爐內溫度傳感器的爐內溫度來求出該區域的鼓風機輸出。

7.一種熱處理裝置，其特征在于，具備：

爐本體；

加熱器，其設置在爐本體內周面；

處理容器，其配置在爐本體內，與爐本體之間形成空間，并且在該處理容器內部收納多個被處理體；

鼓風機，其經由冷卻介質供給線連接于爐本體，向爐本體與處理容器之間的空間供給冷卻介質；

閥機構，其調整從鼓風機供給的冷卻介質的流量；

排氣管，其設置在爐本體；

爐內溫度傳感器，其檢測處理容器內部或者外部的溫度；以及

控制裝置，其控制加熱器和閥機構，調整處理容器內的溫度來使處理容器內的溫度收斂為規定的目標溫度，

其中，上述控制裝置具有：預先確定的數值模型，其與加熱器輸出和冷卻輸出相關；加熱器輸出運算部，其根據上述數值模型和來自爐內溫度傳感器的爐內溫度來求出加熱器輸出；冷卻輸出運算部，其根據上述數值模型和來自爐內溫度傳感器的爐內溫度來求出冷卻輸出；以及流量控制運算部，其將來自冷卻輸出運算部的冷卻輸出轉換為冷卻介質流量，其中，流量控制運算部根據冷卻介質流量來控制閥機構。