[發明專利]微波照射裝置以及微波照射方法

有效

• 申請號: 201110271883.6
• 申請日: 2011-09-14
• 公開（公告）號: CN102404891A
• 公開（公告）日: 2012-04-04
• 發明（設計）人: 河西繁;蘆田光利
• 申請（專利權）人: 東京毅力科創株式會社
• 主分類號: H05B6/64
• 分類號: H05B6/64;H05B6/66;H01L21/67;H01L21/268
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322
• 代理人: 龍淳

1.一種微波照射裝置，其特征在于，包括：

收納被處理體的腔室；

通過被供給電壓而產生微波，將該微波照射在所述腔室內的被處理體的多個磁控管；以及

向所述多個磁控管供給脈沖狀電壓的電源部，其中，

所述電源部按照被分別供給至所述多個磁控管的脈沖狀電壓的電壓脈沖彼此在時間上不重疊的方式供給電壓。

2.如權利要求1所述的微波照射裝置，其特征在于：

所述電源部按照向所述多個磁控管依次供給電壓脈沖的方式供給所述脈沖狀電壓。

3.如權利要求1或2所述的微波照射裝置，其特征在于：

所述電源部控制電壓波形，使得所述電壓脈沖的電壓值在時間上連續變化。

4.如權利要求3所述的微波照射裝置，其特征在于：

所述電源部控制電壓波形，使得所述電壓脈沖形成全波整流波形。

5.如權利要求3所述的微波照射裝置，其特征在于：

所述電源部控制電壓波形，使得所述電壓脈沖變成模擬正弦曲線。

6.如權利要求3所述的微波照射裝置，其特征在于：

所述電源部控制電壓波形，使得所述電壓脈沖變成三角波、梯形波、鋸齒形波中的任意一種。

7.如權利要求3所述的微波照射裝置，其特征在于：

所述電源部控制電壓波形，使得所述電壓脈沖在比所述多個磁控管的振蕩電壓低的電壓部分急劇地上升和下降，在振蕩電壓以上的部分成為預期的波形。

8.如權利要求1或2中任意一項所述的微波照射裝置，其特征在于，所述電源部具有：

將交流電流轉換成直流的交流/直流轉換部；

開關電路，具有多個開關晶體管，輸入所述被轉換的直流電壓，在所述各個開關晶體管中產生導通·關閉循環，通過這些各個開關晶體管的組合來輸出規定的脈沖狀電壓；

對所述開關電路進行控制的開關控制部；和

將規定的脈沖狀電壓從所述開關電路向兩個磁控管交替引導的電壓供給電路。

9.如權利要求1或2中任意一項所述的微波照射裝置，其特征在于，所述電源部具有：

將交流電流轉換成直流的交流/直流轉換部；

第一及第二開關電路，分別具有多個開關晶體管，輸入所述被轉換的直流電壓，在所述各個開關晶體管中產生導通·關閉循環，通過這些各個開關晶體管的組合來輸出規定的脈沖狀電壓；

控制所述第一及第二開關電路的開關控制部；

將規定波形的脈沖狀電壓從所述第一開關電路向第一及第二磁控管交替引導的第一電壓供給電路；和

將規定的脈沖狀電壓從所述第二開關電路向第三及第四磁控管交替引導的第二電壓供給電路。

10.如權利要求9所述的微波照射裝置，其特征在于：

對電壓供給進行控制，使得：首先，通過所述第一開關電路的一部分的開關晶體管，從所述第一電壓供給電路向所述第一磁控管供給電壓，接著，通過所述第二開關電路的一部分的開關晶體管，從所述第二電壓供給電路向所述第三磁控管供給電壓，接著，通過所述第一開關電路的其他一部分的開關晶體管，從所述第一電壓供給電路向所述第二磁控管供給電壓，接著，通過所述第二開關電路的其他一部分的開關晶體管，從所述第二電壓供給電路向所述第四磁控管供給電壓。

11.一種微波照射方法，其特征在于：

將通過向多個磁控管供給脈沖狀電壓而產生的微波向腔室內的被處理體照射，

以被分別供給至所述多個磁控管的脈沖狀電壓的電壓脈沖彼此在時間上不重疊的方式供給電壓。

12.如權利要求11所述的微波照射方法，其特征在于：

以向所述多個磁控管依次供給電壓脈沖的方式供給所述脈沖狀電壓。

13.如權利要求11或權利要求12所述的微波照射方法，其特征在于：

控制電壓波形，使得所述電壓脈沖的電壓值在時間上連續地變化。

14.如權利要求13所述的微波照射方法，其特征在于：

控制電壓波形，使得所述電壓脈沖形成全波整流波形。