[發明專利]一種太陽能級多晶硅脫磷的提純方法無效
| 申請號: | 201110268669.5 | 申請日: | 2011-09-13 |
| 公開(公告)號: | CN102424389A | 公開(公告)日: | 2012-04-25 |
| 發明(設計)人: | 孔繁敏;王新元;安利明;孫湘航;司繼良;陳建玉 | 申請(專利權)人: | 山西納克太陽能科技有限公司 |
| 主分類號: | C01B33/037 | 分類號: | C01B33/037 |
| 代理公司: | 太原市科瑞達專利代理有限公司 14101 | 代理人: | 盧茂春 |
| 地址: | 030032 山西省*** | 國省代碼: | 山西;14 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 太陽 能級 多晶 硅脫磷 提純 方法 | ||
1.?一種太陽能級多晶硅脫磷的提純方法,其特征是提純設備采用高真空感應爐,粒徑是5~100mm的金屬硅為原料,金屬硅原料的純度為99%,即2N以上,其中B含量為5ppm,P含量為25ppm;其操作步驟是:
(1)開啟高真空感應爐的真空系統,依次開啟前級機械泵及擴散泵使爐室內達到高真空狀態;所述的高真空是指控制在1.2×10-3~2.4×10-3Pa;
(2)將占石墨坩堝容量1/10的金屬硅原料裝入位于高真空感應爐內的石墨坩堝中,開啟高頻感應電源將金屬硅熔化;所述的高頻感應電源功率為200~280KW;
(3)待第(2)步驟金屬硅原料熔化后使金屬硅液溫度保持在1560~1600℃,需要保持12到20小時,開啟金屬硅原料連續送料裝置,投入剩余金屬硅原料至爐內的石墨坩堝中進行連續脫磷;
(4)脫磷后的金屬硅熔體容積達到坩堝容積的2/3~3/4時,將金屬硅熔體傾入同爐室內的另一坩堝中,自然冷卻5小時,便得到脫磷多晶硅。
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