[發(fā)明專利]一種電子顯微鏡樣品盒

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201110268430.8
• 申請日: 2011-09-09
• 公開（公告）號: CN102866034A
• 公開（公告）日: 2013-01-09
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 陳智;杜經(jīng)寧
• 申請（專利權(quán)）人: 財團法人交大思源基金會
• 主分類號: G01N1/00
• 分類號: G01N1/00
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 周國城

1.一種電子顯微鏡樣品盒，包括：

一第一基板，其具有一第一表面、一第二表面、一第一凹槽、及一個或一個以上的第一導(dǎo)孔，其中該第一凹槽設(shè)置于該第二表面，而該第一表面上設(shè)有一第一薄膜，其對應(yīng)于該第一凹槽，且該一個或一個以上的第一導(dǎo)孔設(shè)置于該第一凹槽的外圍，并貫穿該第一基板；

一第二基板，其具有一第三表面、一第四表面、及一第二凹槽，其中該第二凹槽設(shè)置于該第四表面，而該第三表面上設(shè)有一第二薄膜，其對應(yīng)于該第二凹槽；

一金屬黏著層，設(shè)置于該第一基板與該第二基板之間；以及

一個或一個以上的光電元件，其具有一個或一個以上的作用端，而該光電元件設(shè)置于該第一基板及該第二基板之間；

其中該第一基板、該第二基板、及該金屬黏著層之間形成一空間，且該光電元件的該作用端設(shè)于該空間。

2.如權(quán)利要求1所述的電子顯微鏡樣品盒，其中該第一導(dǎo)孔貫穿該第一薄膜。

3.如權(quán)利要求1所述的電子顯微鏡樣品盒，其中該金屬黏著層設(shè)置于該第二表面與該第四表面之間。

4.如權(quán)利要求1所述的電子顯微鏡樣品盒，其中該金屬黏著層設(shè)置于該第二表面與該第二薄膜之間。

5.如權(quán)利要求1所述的電子顯微鏡樣品盒，其中一個或一個以上的該光電元件各自獨立為光纖、或電極。

6.如權(quán)利要求1所述的電子顯微鏡樣品盒，其中該第二基板更包括一個或一個以上的第二導(dǎo)孔，其中該第二導(dǎo)孔設(shè)置于該第二凹槽的外圍，并貫穿該第二基板。

7.如權(quán)利要求1所述的電子顯微鏡樣品盒，其中該第一導(dǎo)孔的孔徑為10至1000微米。

8.如權(quán)利要求6所述的電子顯微鏡樣品盒，其中該第二導(dǎo)孔的孔徑為10至1000微米。

9.如權(quán)利要求1所述的電子顯微鏡樣品盒，其中更包含一個或一個以上的栓塞，置于該第一導(dǎo)孔。

10.如權(quán)利要求6所述的電子顯微鏡樣品盒，其中更包含一個或一個以上的栓塞，置于該第二導(dǎo)孔。

11.如權(quán)利要求1所述的電子顯微鏡樣品盒，其中該第一薄膜及該第二薄膜的材料各自獨立為二氧化硅SiO₂、氮化硅Si₃N₄、或其組合。

12.如權(quán)利要求1所述的電子顯微鏡樣品盒，其中該第一薄膜、及該第二薄膜的厚度為1至100納米。

13.如權(quán)利要求1所述的電子顯微鏡樣品盒，其中該第一薄膜的外層設(shè)有一第一保護層。

14.如權(quán)利要求13所述的電子顯微鏡樣品盒，其中該第一保護層的材料為氮化硅Si₃N₄。

15.如權(quán)利要求1所述的電子顯微鏡樣品盒，其中該第二薄膜的外層設(shè)有一第二保護層。

16.如權(quán)利要求15所述的電子顯微鏡樣品盒，其中該第二保護層的材料為氮化硅Si₃N₄。

17.如權(quán)利要求1所述的電子顯微鏡樣品盒，其中該第一基板及第二基板各自獨立為硅基板、玻璃基板、或聚合物基板。

18.如權(quán)利要求1所述的電子顯微鏡樣品盒，其中該第一基板及該第二基板的厚度介于10至1000微米。

19.如權(quán)利要求1所述的電子顯微鏡樣品盒，其中該金屬黏著劑為一金屬材料，其中該金屬材料選自：鈦、鈦鎢合金、鉻、鎳、錫、銦、鉍、銅、銀、鎳、鋅、金、或其組合所組成的群組。

20.如權(quán)利要求9所述的電子顯微鏡樣品盒，其中該栓塞的材料選自：鈦鎳合金、銅基合金、銅鋅合金、銅鋁錳合金、銅鋁鎳合金、銅鋁鈹合金、銅鋁鈹鋯合金、銅鋁鎳鈹合、及其組合所組成的群組。

21.如權(quán)利要求1所述的電子顯微鏡樣品盒，其中該第一基板、該第二基板、及該金屬黏著層所形成該空間的體積為0.01至100立方毫米。