[發(fā)明專利]亞常壓化學(xué)氣相沉積法設(shè)備氣化閥堵塞的檢測方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201110267096.4
• 申請日: 2011-09-09
• 公開（公告）號: CN103000514A
• 公開（公告）日: 2013-03-27
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 成鑫華;嚴瑋;程望陽
• 申請（專利權(quán)）人: 上海華虹NEC電子有限公司
• 主分類號: H01L21/316
• 分類號: H01L21/316;H01L21/205
• 代理公司: 上海浦一知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31211
• 代理人: 王函

1.一種亞常壓化學(xué)氣相沉積法設(shè)備氣化閥堵塞的檢測方法，其特征在于，包括如下步驟：

(1)記錄下腔體的基準(zhǔn)壓力；

(2)設(shè)定載氣流量為固定值，并設(shè)定腔體的壓力為固定值，待載氣流量穩(wěn)定后，記錄下節(jié)流閥的位置A；

(3)將節(jié)流閥所開的位置設(shè)定在位置A上，保持載氣流量為步驟(2)設(shè)定的固定值，此時腔體的壓力必須在步驟(2)設(shè)定的固定值附近；

(4)分別流入TEOS液體流量，并記錄下腔體的壓力；

(5)計算出各個TEOS流量下的腔體壓力和腔體基準(zhǔn)壓力的差值；

(6)繪制TEOS流量和腔體壓差的變化示意圖，正常的TEOS流量和腔體的壓差變化為一條直線且線性度比較好，而典型的不正常的變化線性度較低，由此可判斷出不正常情況下的氣化閥堵塞。

2.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，在步驟(1)中，所述腔體的基準(zhǔn)壓力為150～400毫托。

3.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，在步驟(2)中，所述設(shè)定載氣流量為3000毫升/分鐘，并設(shè)定腔體的壓力為3托。

4.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，在步驟(2)中，所述載氣包含氦氣、氮氣以及氦氣和氮氣的混合氣體，所述氦氣流量為100～10000毫升/分鐘，所述氮氣流量為100～10000毫升/分鐘。

5.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，在步驟(3)中，所述腔體的壓力必須在步驟(2)設(shè)定的固定值附近，其允許的誤差范圍為+/-0.1托。

6.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，在步驟(4)中，所述TEOS液體流量為100～1500毫克/分鐘。

7.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，在步驟(5)中，所述腔體壓力和腔體基準(zhǔn)壓力的差值為0～100托。

8.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，在步驟(6)中，所述TEOS流量X和腔體壓力差Y之間的經(jīng)驗公式為Y＝0.0019X+2.9788。