[發明專利]一種線列式有機金屬化合物氣相淀積系統及方法

無效

• 申請號: 201110266922.3
• 申請日: 2011-09-09
• 公開（公告）號: CN102296285A
• 公開（公告）日: 2011-12-28
• 發明（設計）人: 崔軍;吳國發;楊武斌;辛科;王奇
• 申請（專利權）人: 漢能科技有限公司
• 主分類號: C23C16/54
• 分類號: C23C16/54
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種線列式有機金屬化合物氣相淀積系統，包括用于傳輸玻璃基板的傳輸系統和以該傳輸系統為基座依次分布和連接的裝載臺、預處理單元、反應單元、后處理單元和卸載臺，其特征在于還包括設于裝載臺和預處理單元之間的裝載緩沖臺、設于后處理單元與卸載臺之間的卸載緩沖臺；同時，在預處理單元、反應單元和后處理單元的傳輸系統上設有至少兩套傳輸子系統。

2.根據權利要求1所述的線列式有機金屬化合物氣相淀積系統，其特征在于所述預處理單元、反應單元和后處理單元的傳輸子系統為滾輪傳輸系統。

3.根據權利要求1或2所述的線列式有機金屬化合物氣相淀積系統，其特征在于所述裝載臺、裝載緩沖臺、預處理單元、反應單元、后處理單元、卸載緩沖臺和卸載臺的傳輸系統分別設有傳感單元以及分別與傳輸系統、傳感單元連接的控制單元。

4.根據權利要求3所述的線列式有機金屬化合物氣相淀積系統，其特征在于所述傳感單元的位置對應于玻璃基板待命位置的前端和/或后端。

5.根據權利要求3所述的線列式有機金屬化合物氣相淀積系統，其特征在于所述控制單元包含傳輸電機控制模塊和傳感單元控制模塊。

6.根據權利要求3所述的線列式有機金屬化合物氣相淀積系統，其特征在于所述預處理單元、反應單元、后處理單元的每套滾輪傳輸系統均設置傳感單元。

7.根據權利要求3所述的線列式有機金屬化合物氣相淀積系統，其特征在于所述預處理單元、反應單元和后處理單元的底部或側壁設有孔，傳感單元通過連接件分別對應固定設置在該孔內；裝載臺、裝載緩沖臺、卸載緩沖臺和卸載臺的兩側分別設有支架，傳感單元通過連接件分別對應固定設置在該支架上。

8.根據權利要求1所述的線列式有機金屬化合物氣相淀積系統，其特征在于所述玻璃基板的大小規格介于600×1200mm與3300×6000mm之間。

9.根據權利要求8所述的線列式有機金屬化合物氣相淀積系統，其特征在于所述玻璃基板的大小規格為635mm×1245?mm。

10.一種線列式有機金屬化合物氣相淀積方法，玻璃基板置于裝載臺上，傳輸系統收到玻璃就位信號，帶動玻璃基板向裝載緩沖臺運動，當玻璃基板被裝載緩沖臺檢測到后，傳輸系統帶動玻璃基板到達裝載緩沖臺停止位置；在先一片玻璃基板到達裝載緩沖臺停止位置后，將在后一片玻璃基板置于裝載臺上，此時預處理單元門閥打開，兩片或多片玻璃分別啟動依次傳輸至預處理單元內；在先一片玻璃經過預處理單元在先一套傳輸系統時不停止，直至到在后一套傳輸系統停止位置上才停止，而在后一片玻璃則在預處理單元在先一套傳輸系統停止位置上停止；當兩片或多片玻璃都到達停止位置，傳感器觸發，加熱功能開啟，兩套或多套滾輪傳輸系統開始前后旋轉，使得玻璃進行往復運動；之后以與進入預處理單元相同的傳輸方式進入反應單元進行氣相沉積反應，再以與進入預處理單元相同的傳輸方式進入后處理單元冷卻，然后依次通過滾輪傳輸系統傳出，在先一片玻璃經過卸載緩沖臺時不停止，直至卸載臺停止位置停止，在后一片玻璃在卸載緩沖臺停止，直到在先一片玻璃基板被取走后，才傳輸到卸載臺停止位置上取走。