[發明專利]加速度傳感器

無效

• 申請號: 201110266728.5
• 申請日: 2011-08-31
• 公開（公告）號: CN102539829A
• 公開（公告）日: 2012-07-04
• 發明（設計）人: 山口靖雄;奧村美香;村上剛史
• 申請（專利權）人: 三菱電機株式會社
• 主分類號: G01P15/125
• 分類號: G01P15/125
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 何欣亭;王忠忠

1.一種加速度傳感器，其特征在于，具備：

第一質量體，由第一梁保持，能夠因加速度而發生位移；

固定電極，以能夠將所述第一質量體的所述位移轉換成電量的方式配置；以及

位移容易度變化部件，在所述第一質量體的所述位移超過既定的范圍時，給所述第一質量體的位移容易度帶去變化。

2.如權利要求1所述的加速度傳感器，其特征在于：

所述位移容易度變化部件為第二質量體，由第二梁保持，能夠因加速度而發生位移，與所述第一質量體隔開既定的間隔而配置。

3.如權利要求2所述的加速度傳感器，其特征在于：

所述第二梁和所述第二質量體為多個，

各所述第二質量體由各不相同的所述第二梁保持。

4.如權利要求3所述的加速度傳感器，其特征在于：

各所述第二質量體為相同的質量，

各所述第二梁為相同的剛性。

5.如權利要求3所述的加速度傳感器，其特征在于：

各所述第二質量體為不同的質量，

各所述第二梁為不同的剛性。

6.如權利要求2所述的加速度傳感器，其特征在于：

在與所述第一質量體面對的所述第二質量體側或與所述第二質量體面對的所述第一質量體側，形成有突起。

7.如權利要求2所述的加速度傳感器，其特征在于：

俯視時，所述第二質量體圍繞所述第一質量體。

8.如權利要求7所述的加速度傳感器，其特征在于：

所述第一梁將所述第一質量體和所述第二質量體連結，

所述第二梁將所述第二質量體和作為固定端的錨連結。

9.如權利要求7所述的加速度傳感器，其特征在于：

所述第一梁將所述第一質量體和作為固定端的第一錨連結，

所述第二梁將所述第二質量體和作為固定端的第二錨連結。

10.如權利要求2所述的加速度傳感器，其特征在于：

僅探測所述第一質量體和所述固定電極之間的靜電電容的變化。

11.如權利要求2所述的加速度傳感器，其特征在于：

所述固定電極以能夠將所述第二質量體的所述位移轉換成電量的方式配置，

探測所述第一質量體與所述固定電極之間的靜電電容的變化和所述第二質量體與所述固定電極之間的靜電電容的變化的二者。

12.如權利要求1所述的加速度傳感器，其特征在于：

所述位移容易度變化部件是配置于所述第一梁的旁邊的支柱。

13.如權利要求12所述的加速度傳感器，其特征在于：

所述支柱沿著所述第一梁的配設方向配置多個。

14.如權利要求1所述的加速度傳感器，其特征在于：

所述第一梁將所述第一質量體和作為固定端的錨連結，

還具備一端與所述第一質量體結合的第二梁，

所述位移容易度變化部件是圍繞所述第二梁的另一端和該另一端附近的所述第二梁的側面部的梁圍繞部。

15.如權利要求14所述的加速度傳感器，其特征在于：

所述第二梁和所述梁圍繞部為多個，

按每個所述第二梁的所述另一端而配設所述梁圍繞部。