[發明專利]氣體射流沖擊冷卻裝置有效
| 申請號： | 201110266516.7 | 申請日： | 2011-09-08 |
| 公開（公告）號： | CN103000486A | 公開（公告）日： | 2013-03-27 |
| 發明（設計）人： | 楊志斌;束劍平;張洪博;趙濱;江家瑋 | 申請（專利權）人： | 上海微電子裝備有限公司 |
| 主分類號： | H01J61/52 | 分類號： | H01J61/52 |
| 代理公司： | 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李時云 |
| 地址： | 201203 上*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 氣體 射流 沖擊 冷卻 裝置 | ||
1.一種氣體射流沖擊冷卻裝置，用于冷卻汞燈的陽極，所述汞燈包括所述陽極和橢球碗，所述陽極容置在所述橢球碗中，其特征是，所述氣體射流沖擊冷去裝置包括：
偶數個噴嘴，對稱設置在所述橢球碗的上端面，所述噴嘴包括：
接入口，連接冷卻介質；以及
噴口，用于噴出所述冷卻介質至所述陽極。
2.根據權利要求1所述的氣體射流沖擊冷卻裝置，其特征是，所述噴口的截面積大于所述接入口的截面積，所述噴口為窄縫形。
3.根據權利要求1所述的氣體射流沖擊冷卻裝置，其特征是所述汞燈的陽極為2000W以上的大功率汞燈陽極。
4.根據權利要求1所述的氣體射流沖擊冷卻裝置，其特征是，所述噴口的長與寬的比例為10∶1。
5.根據權利要求1所述的氣體射流沖擊冷卻裝置，其特征是，所述噴嘴還包括：
腔體段，連接于所述接入口；
平直段，連接于所述噴口；以及
收縮段，連接于所述腔體段與所述平直段。
6.根據權利要求5所述的氣體射流沖擊冷卻裝置，其特征是，所述腔體段的截面積與所述接入口的截面積相同。
7.根據權利要求5所述的氣體射流沖擊冷卻裝置，其特征是，所述平直段的截面積與所述噴口的截面積相同。
8.根據權利要求5所述的氣體射流沖擊冷卻裝置，其特征是，所述收縮段的截面積自所述腔體段至所述平直段逐漸減小。
9.根據權利要求1所述的氣體射流沖擊冷卻裝置，其特征是，所述冷卻介質為壓縮空氣或壓縮氮氣。
10.根據權利要求1所述的氣體射流沖擊冷卻裝置，其特征是，所述噴口的寬度與所述陽極的寬度比例為1∶18。
11.根據權利要求1所述的氣體射流沖擊冷卻裝置，其特征是，所述接入口還包括調壓閥，用以調整所述冷卻介質的壓力。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于上海微電子裝備有限公司，未經上海微電子裝備有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201110266516.7/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
