[發(fā)明專利]基于激光反饋效應(yīng)的三維形貌顯微測(cè)量系統(tǒng)無效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201110266141.4 | 申請(qǐng)日： | 2011-09-09 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN102435148A | 公開（公告）日： | 2012-05-02 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 馬軍山;凌進(jìn)中;李曉沛 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 上海理工大學(xué) |
| 主分類號(hào)： | G01B11/24 | 分類號(hào)： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 上海申匯專利代理有限公司 31001 | 代理人： | 吳寶根 |
| 地址： | 200093 *** | 國(guó)省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 基于 激光 反饋 效應(yīng) 三維 形貌 顯微 測(cè)量 系統(tǒng) | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種基于激光反饋效應(yīng)的三維形貌顯微測(cè)量系統(tǒng)，其特征在于，半導(dǎo)體激光器發(fā)射的激光通過準(zhǔn)直透鏡后變換為平行光入射到分光鏡，經(jīng)過分光后，一部分激光到達(dá)反射鏡改變光束方向，再入射到顯微物鏡會(huì)聚，照射到放置在載物臺(tái)上的被測(cè)物體的表面，由焦點(diǎn)處產(chǎn)生的散射光再由顯微物鏡收集沿著原光路反饋回半導(dǎo)體激光器；經(jīng)過分光后的另一部分激光被光電探測(cè)器接收，數(shù)據(jù)采集卡對(duì)光電探測(cè)器數(shù)據(jù)進(jìn)行采集后送入計(jì)算機(jī)中，計(jì)算機(jī)輸出控制信號(hào)到驅(qū)動(dòng)電路，驅(qū)動(dòng)電路帶動(dòng)三維掃描平臺(tái)移動(dòng)位置，載物臺(tái)擱置在三維掃描平臺(tái)上。
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