[發(fā)明專利]輸送裝置、處理系統(tǒng)以及輸送裝置的控制方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201110264419.4
• 申請日: 2011-09-05
• 公開（公告）號: CN102442550A
• 公開（公告）日: 2012-05-09
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 山田洋平
• 申請（專利權(quán)）人: 東京毅力科創(chuàng)株式會社
• 主分類號: B65G49/06
• 分類號: B65G49/06;H01L21/677;H01L21/67
• 代理公司: 北京林達(dá)劉知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;張會華

1.一種輸送裝置，其用于對輸送體進(jìn)行輸送，其特征在于，

其包括：

支承構(gòu)件，其能夠前進(jìn)后退，用于支承上述輸送體；

傳感器，其用于在上述支承構(gòu)件前進(jìn)時、對上述支承構(gòu)件的頂端接觸到障礙物的情況進(jìn)行檢測；

上述傳感器包括：

第1導(dǎo)電環(huán)，其以接地的狀態(tài)設(shè)在上述支承構(gòu)件的頂端，并具有撓性；

第2導(dǎo)電環(huán)，其以與上述第1導(dǎo)電環(huán)分開的方式設(shè)在上述第1導(dǎo)電環(huán)的內(nèi)側(cè)；

檢測器，其用于在上述第1導(dǎo)電環(huán)與上述障礙物接觸而變形并接觸到上述第2導(dǎo)電環(huán)時、對上述第1導(dǎo)電環(huán)與上述第2導(dǎo)電環(huán)短路的情況進(jìn)行檢測。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的輸送裝置，其特征在于，

上述第2導(dǎo)電環(huán)具有撓性。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的輸送裝置，其特征在于，

在上述第2導(dǎo)電環(huán)的上部設(shè)有朝向外側(cè)延伸的電接觸端子；

該輸送裝置還包括：

基座，其具有凸部，該基座被安裝在上述支承構(gòu)件的頂端；

絕緣性保持構(gòu)件，其用于以使上述第1導(dǎo)電環(huán)與上述第2導(dǎo)電環(huán)彼此絕緣的狀態(tài)、并且使上述第1導(dǎo)電環(huán)與上述第2導(dǎo)電環(huán)彼此分開的狀態(tài)對上述第1導(dǎo)電環(huán)與上述第2導(dǎo)電環(huán)進(jìn)行保持；

檢測端子，其一端連接于上述檢測器；

上述第1導(dǎo)電環(huán)以及上述第2導(dǎo)電環(huán)以這樣的狀態(tài)安裝在上述支承構(gòu)件的頂端：用上述基座的凸部與上述絕緣性保持構(gòu)件夾住上述第1導(dǎo)電環(huán)的側(cè)面的一部分，將上述電接觸端子放在上述絕緣性保持構(gòu)件的上表面上，并且使上述第2導(dǎo)電環(huán)的側(cè)面與絕緣性保持構(gòu)件抵接；

上述檢測端子的另一端與上述電接觸端子抵接。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的輸送裝置，其特征在于，

上述支承構(gòu)件被接地，并且上述基座具有導(dǎo)電性。

5.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的輸送裝置，其特征在于，

上述檢測器對上述檢測端子的一端的電位的變化進(jìn)行檢測，并對上述第1導(dǎo)電環(huán)與上述第2導(dǎo)電環(huán)短路的情況進(jìn)行檢測。

6.一種處理系統(tǒng)，其包括：

共用輸送室；

處理室，其與上述共用輸送室連接，用于對被處理體實施處理；

輸送裝置，其配置在上述共用輸送室中，用于對上述被處理體進(jìn)行輸送；

該處理系統(tǒng)的特征在于，

上述輸送裝置使用權(quán)利要求1至5中的任意一項所述的輸送裝置。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的處理系統(tǒng)，其特征在于，

上述處理室以及上述輸送室構(gòu)成為能夠使內(nèi)部處于減壓狀態(tài)的氣密容器。

8.根據(jù)權(quán)利要求6或7所述的處理系統(tǒng)，其特征在于，

上述處理室用于對上述被處理體進(jìn)行熱處理。

9.一種輸送裝置的控制方法，其是用于對上述輸送體進(jìn)行輸送的輸送裝置的控制方法，該輸送裝置包括：能夠前進(jìn)后退并用于支承輸送體的支承構(gòu)件、用于在上述支承構(gòu)件前進(jìn)時對上述支承構(gòu)件的頂端接觸到障礙物的情況進(jìn)行檢測的傳感器，該輸送裝置的控制方法的特征在于，其包括以下步驟：

使上述支承構(gòu)件以第1速度朝向規(guī)定的位置前進(jìn)；

在被設(shè)定在上述規(guī)定的位置跟前的、用于對上述障礙物的有無進(jìn)行確認(rèn)的確認(rèn)區(qū)間，使上述支承構(gòu)件以比上述第1速度慢的第2速度朝向上述規(guī)定的位置前進(jìn)；

通過上述確認(rèn)區(qū)間之后，使上述支承構(gòu)件以比上述第2速度快的第3速度朝向上述規(guī)定的位置前進(jìn)。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的輸送裝置的控制方法，其特征在于，

上述傳感器使用權(quán)利要求1至5中的任意一項所述的傳感器。