[發明專利]旋轉接頭以及濺射裝置

有效

• 申請號: 201110262680.0
• 申請日: 2011-09-07
• 公開（公告）號: CN102400105A
• 公開（公告）日: 2012-04-04
• 發明（設計）人: 安松保志
• 申請（專利權）人: 佳能安內華股份有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 11038
• 代理人: 張斯盾

1.一種旋轉接頭，其特征在于，具備：

具有插通孔，且具有用于從外部導入流體的導入口的筐體、

插通于上述筐體的插通孔，能夠相對于旋轉軸相對于上述筐體相對旋轉的軸體單元、

沿上述旋轉軸方向形成在上述軸體單元內，用于與上述導入口連通的第一軸體單元導入路以及第二軸體單元導入路、

設置在上述第一軸體單元導入路和第二軸體單元導入路之間，用于切換該流體的流量的切換部件；

上述切換部件

具有第一孔和比上述第一孔的直徑小，且比上述第一軸體單元導入路以及上述第二軸體單元導入路的直徑小的第二孔，

能夠對上述切換部件的第一孔進行切換，以便與上述第一軸體單元導入路或第二軸體單元導入路的一方一致，將上游側和下游側連通，且

能夠對上述切換部件的第二孔進行切換，以便與上述第一軸體單元導入路或第二軸體單元導入路的另一方一致，將上游側和下游側連通。

2.如權利要求1所述的旋轉接頭，其特征在于，具有形成在上述軸體單元的外側，用于與上述筐體的上述導入口連通的第一環狀流路；

上述第一軸體單元導入路和上述第二軸體單元導入路與上述第一環狀流路連通。

3.如權利要求2所述的旋轉接頭，其特征在于，上述筐體具有將從上述導入口導入的上述流體向外部導出的導出口；

上述旋轉接頭還具備

形成在上述軸體單元的外側，用于與上述筐體的上述導出口連通的第二環狀流路、

在上述軸體單元內被形成在上述旋轉軸方向，通過上述第一軸體單元導入路和第一配管連通，且與上述第二環狀流路連通的第三軸體單元導出路、

在上述軸體單元內被形成在上述旋轉軸方向，通過上述第二軸體單元導入路和第二配管連通，且與上述第二環狀流路連通的第四軸體單元導出路；

上述切換部件被設置在上述第一軸體單元導入路和上述第二軸體單元導入路之間，且上述第三軸體單元導出路和第四軸體單元導出路之間；

上述切換部件

具有一對第一孔和比上述第一孔的直徑小，且比上述第一軸體單元導入路以及上述第二軸體單元導入路的直徑小的一對第二孔，

上述切換部件能夠對一對第一孔進行切換，以便與上述第一軸體單元導入路以及上述第三軸體單元導出路、或上述第二軸體單元導入路以及上述第四軸體單元導出路的任意一方一致，將上游側和下游側連通，且能夠對上述切換部件的一對第二孔進行切換，以便與上述第一軸體單元導入路以及上述第三軸體單元導出路、或上述第二軸體單元導入路以及上述第四軸體單元導出路的任意另一方一致，將上游側和下游側連通。

4.一種濺射裝置，其特征在于，具備：

旋轉接頭、

用于支撐多個靶材的可旋轉的支撐體、

為對上述靶材進行濺射處理而設置在上述支撐體上，具備用于使來自第一軸體單元導入路的流體流動的第一配管的第一陰極、

為對上述靶材進行濺射處理而設置在上述支撐體上，具備用于使來自第二軸體單元導入路的流體流動的第二配管的第二陰極；

所述旋轉接頭具備：

具有插通孔，且具有用于從外部導入流體的導入口的筐體、

插通于上述筐體的插通孔，能夠相對于旋轉軸相對于上述筐體相對旋轉的軸體單元、

沿上述旋轉軸方向形成在上述軸體單元內，用于與上述導入口連通的第一軸體單元導入路以及第二軸體單元導入路、

設置在上述第一軸體單元導入路和第二軸體單元導入路之間，用于切換該流體的流量的切換部件；

上述切換部件具有第一孔和比上述第一孔的直徑小，且比上述第一軸體單元導入路以及上述第二軸體單元導入路的直徑小的第二孔，

能夠對上述切換部件的第一孔進行切換，以便與上述第一軸體單元導入路或第二軸體單元導入路的一方一致，將上游側和下游側連通，且

能夠對上述切換部件的第二孔進行切換，以便與上述第一軸體單元導入路或第二軸體單元導入路的另一方一致，將上游側和下游側連通。

5.如權利要求4所述的濺射裝置，其特征在于，還具備控制部，所述控制部對上述旋轉接頭進行控制，以便相對于實施濺射處理的上述第一陰極的第一配管，使上述第一孔一致，且

相對于未實施濺射處理的上述第二陰極的第二配管，使上述第二孔一致。