[發(fā)明專利]液體噴射頭的制造方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201110262633.6
• 申請日: 2011-09-07
• 公開（公告）號: CN102398423A
• 公開（公告）日: 2012-04-04
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 松本圭司;小山修司;橫山宇;藤井謙兒;山室純
• 申請（專利權(quán)）人: 佳能株式會社
• 主分類號: B41J2/16
• 分類號: B41J2/16
• 代理公司: 中國國際貿(mào)易促進(jìn)委員會專利商標(biāo)事務(wù)所 11038
• 代理人: 康建忠

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及用于噴射液體的液體噴射頭的制造方法。

背景技術(shù)

在通過將墨噴射到記錄介質(zhì)上執(zhí)行記錄的噴墨記錄方法中使用的噴墨記錄頭是典型的液體噴射頭。噴墨記錄頭通常包含墨流路、設(shè)置在流路的一部分中的噴射能量產(chǎn)生元件、以及微細(xì)噴墨口，利用噴射能量產(chǎn)生部分產(chǎn)生的能量通過該微細(xì)噴墨口噴射墨。

日本專利公開No.2-24220公開了可應(yīng)用于噴墨記錄頭的制造的液體噴射頭的制造方法。在其中公開的方法中，液體流路的側(cè)壁在具有多個噴射能量產(chǎn)生部分的基板上形成，以便能夠在基板外周附近的位置處與外面連通并使得液體能夠從該處被供給到流路內(nèi)。然后，形成流路的頂部的光致抗蝕劑層被層疊于其上，并且，在用作流路的空間上的光致抗蝕劑被曝光、加熱和固化。最后，光致抗蝕劑的未曝光部分被去除以在光致抗蝕劑中提供噴射口。

美國專利申請公開No.US2007/0070122公開了如下這樣的方法，在具有從基板的表面貫穿到背面的液體供給口的基板的表面上加工液體供給口以形成流路的側(cè)壁。然后，在其上層疊光致抗蝕劑層，并且，在最終用作流路的空間之上的位置處在光致抗蝕劑層中提供噴射口。

在日本專利公開No.2-24220中公開的方法中，當(dāng)在光致抗蝕劑層中提供噴射口時，最終用作流路的空間中的氣體被曝光之后的熱加熱并且膨脹。但是，由于流路在基板的外周與外部空氣連通，因此，氣體可被排出。并且，在美國專利申請公開No.US2007/0070122中公開的方法中，膨脹的氣體可通過供給口被排出到硅基板的背面。通過有效地排出氣體，可以防止光致抗蝕劑由于膨脹的氣體而變形。

但是，由于在日本專利公開No.2-24220中公開的液體噴射頭的結(jié)構(gòu)中供給口被設(shè)置在基板的側(cè)端，因此，對于長的液體噴射頭，液體再填充特性可能依賴于供給口和噴射口之間的距離而改變。

另一方面，對于在美國專利申請公開No.US2007/0070122中公開的方法，由于具有開口的基板不牢固，因此，當(dāng)在基板上形成光致抗蝕劑時，基板會由于被施加的應(yīng)力而變形。另外，在具有開口的基板表面上形成平坦層是困難的。因此，可能需要特殊的平坦化處理。

如上所述，通過常規(guī)的技術(shù)，可從供給口排出因光刻而膨脹的氣體。但是，頭的噴射性能和制造過程受到限制。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明可提供一種對于頭結(jié)構(gòu)和制造過程的限制很少的、具有通過高效地排出因光刻而膨脹的氣體被精確地形成的噴射口部件的液體噴射頭的高產(chǎn)量制造方法。

本發(fā)明是一種液體噴射頭的制造方法，所述液體噴射頭包含具有噴射口的噴射口部件和具有流路的內(nèi)壁的流路壁部件，液體通過所述噴射口被噴射，液體通過所述流路被提供給所述噴射口，該方法依次包括以下的步驟：制備具有所述流路壁部件的基板；將流路壁部件接合到由光固化樹脂構(gòu)成并且用作所述噴射口部件的樹脂層，使得在內(nèi)側(cè)提供用作流路的空間；在所述樹脂層中提供通孔，使得所述空間與外部空氣連通；將所述樹脂層的一部分曝光；加熱所述樹脂層的曝光部分；和從被加熱的所述樹脂層去除未曝光部分以形成噴射口，由此形成所述噴射口部件。

從下文參照附圖對示例性實(shí)施例的描述，本發(fā)明的其它特征將變得清晰。

附圖說明

圖1A～1C是根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的記錄頭的制造方法的制造過程中的記錄頭的示意性截面圖。

圖2A～2E1是根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的記錄頭的制造方法的制造過程中的記錄頭的示意性截面圖。

圖3是根據(jù)本發(fā)明的例子的記錄頭的制造方法的制造過程中的記錄頭的示意圖。

圖4是根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的噴墨記錄頭的示意性透視圖。

圖5A～5F是根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的記錄頭的制造方法的制造過程中的記錄頭的示意性截面圖。

具體實(shí)施方式

以下將參照附圖描述本發(fā)明。

液體噴射頭可被安裝在諸如打印機(jī)、復(fù)印機(jī)、具有通信系統(tǒng)的傳真機(jī)或具有打印機(jī)的文字處理器的裝置中作為噴射記錄墨的噴墨記錄頭。液體噴射頭也可被安裝在與各種處理裝置組合的工業(yè)記錄系統(tǒng)中。另外，液體噴射頭可被用于制造生物芯片、用于印刷電子電路和用于噴涂藥物。

第一實(shí)施例

以下將描述使用墨作為要被噴射以在記錄介質(zhì)上形成記錄圖像的液體的噴墨記錄頭(記錄頭)的制造方法，該方法是本發(fā)明的液體噴射頭的制造方法的例子。在以下的描述中，相同的附圖標(biāo)記在各附圖中指的是相同的結(jié)構(gòu)(即，具有相同的功能的結(jié)構(gòu))，并且，省略其描述。