[發(fā)明專利]均溫型多晶硅還原爐

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201110262294.1
• 申請日: 2011-09-06
• 公開（公告）號: CN102424387A
• 公開（公告）日: 2012-04-25
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 郭宏新;劉豐;劉世平;馬明;何松;陳瑜;田朝陽;肖天菊
• 申請（專利權(quán)）人: 江蘇中圣高科技產(chǎn)業(yè)有限公司
• 主分類號: C01B33/035
• 分類號: C01B33/035
• 代理公司: 南京天華專利代理有限責(zé)任公司 32218
• 代理人: 夏平;瞿網(wǎng)蘭

1.一種均溫型多晶硅還原爐，它包括支座（1）、水夾套管板（10）和爐體（33），水夾套管板（10）安裝在支座（1）上，爐體（33）通過法蘭安裝在水夾套管板（10），其特征是所述的爐體（33）由爐筒內(nèi)壁（18）和弧形爐外筒（19）及球形爐外筒（20）組成，所述的爐筒內(nèi)壁（18）面對爐腔的一面內(nèi)壁氮化并設(shè)有熱反射涂層；在爐筒內(nèi)壁（18）與弧形爐外筒（19）之間、爐筒內(nèi)壁（18）與球形爐外筒（20）之間均安裝有螺旋布置的支撐板（24），弧形爐外筒（19）下部設(shè)有對筒體（33）進(jìn)行冷卻的冷卻水進(jìn)口（26），冷卻水在爐筒內(nèi)壁（18）與弧形爐外筒（19）及球形爐外筒（20）之間沿螺旋上升至爐體頂部設(shè)置的汽出口（23）排出爐體（33）外；所述的水夾套管板（10）中設(shè)有多圈電極套（12），電極套（12）設(shè)有冷卻元件（36），電極座（15）穿裝在電極套（12）中，電極座（15）的上端伸入爐體中用于插裝硅芯棒（17），電極座（15）的下端穿過電極套（12）與電極（8）相連，電極套（12）的內(nèi)部安裝有冷卻水夾套，水夾套的進(jìn)水口（6）通過管道與冷卻水源相連，水夾套的出水口（9）通過管道與排水口相連；所述的水夾套管板（10）的內(nèi)腔通過進(jìn)水管（35）送入冷卻水；在所述的水夾套管板（10）上安裝有多圈原料氣噴嘴（32），原料氣噴嘴（32）與進(jìn)氣分配管（3）的一端相連通，進(jìn)氣分配管（3）的另一端與原料進(jìn)氣環(huán)管（2）相連通；在水夾套管板（10）的外圈和中心分別連接有與爐體（33）的內(nèi)腔相通的尾氣出氣管（5），尾氣出氣管（5）與尾氣出氣環(huán)管（4）相連通；冷卻水出水管（30）與冷卻水夾套環(huán)管（28）相連，冷卻水夾套環(huán)管（28）通過冷卻水夾套（7）與水夾套管板（10）內(nèi)腔相通以便將其中的冷卻水排出。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的均溫型多晶硅還原爐，其特征是所述的多圈電極套（12）與水夾套管板（10）的連接處設(shè)置有絲網(wǎng)或半圓管毛細(xì)管冷卻元件（36）,?半圓管孔徑為1-5mm,?絲網(wǎng)孔徑為1-5mm。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的均溫型多晶硅還原爐，其特征是所述的爐內(nèi)壁進(jìn)行氮化增強反射處理，增加內(nèi)壁硬度和強度，以減少磨損，并在爐內(nèi)壁進(jìn)表面形成高反射率涂層。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的均溫型多晶硅還原爐，其特征是所述的管板與原料氣噴嘴（32）和尾氣出氣管（5）連接的爐體內(nèi)腔出口處設(shè)置多孔或網(wǎng)格狀過濾罩子（37），孔徑為5-10mm,?網(wǎng)格間隔5-10mm。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的均溫型多晶硅還原爐，其特征是所述的爐體內(nèi)腔直徑不小于3米，所述的用于安裝硅棒（17）的電極座（15）的數(shù)量不少于96個。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的均溫型多晶硅還原爐，其特征是所述的水夾套管板（10）內(nèi)腔頂部設(shè)有水汽排氣管（29）。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的均溫型多晶硅還原爐，其特征是所述的尾氣出氣管（5）同時安裝在水夾套管板（10）的最外圈和中心。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的均溫型多晶硅還原爐，其特征是所述的連接爐體（33）與水夾套管板（10）的法蘭上設(shè)有水夾套（31），水夾套（31）的進(jìn)水口（27）與冷卻水源相連，水夾套（31）的進(jìn)水口（27）的另一端相應(yīng)設(shè)有水夾套（31）的出水口（27）與冷卻水排水管相連。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的均溫型多晶硅還原爐，其特征是所述的爐體（33）的上部安裝有上視鏡（21），中部安裝有中視鏡（16），下部安裝有下視鏡（14）。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的均溫型多晶硅還原爐，其特征是所述的爐體（33）的中部還安裝有視鏡測溫口（25）。