[發明專利]千瓦級大功率半導體激光器陣列壽命試驗在線監測系統

在審

• 申請號: 201110261296.9
• 申請日: 2011-09-05
• 公開（公告）號: CN102590723A
• 公開（公告）日: 2012-07-18
• 發明（設計）人: 路國光;黃云;肖慶中;雷志鋒;楊少華
• 申請（專利權）人: 工業和信息化部電子第五研究所
• 主分類號: G01R31/26
• 分類號: G01R31/26
• 代理公司: 廣州三環專利代理有限公司 44202
• 代理人: 何傳鋒;程躍華

1.一種千瓦級大功率半導體激光器陣列壽命試驗在線監測系統，其特征在于，它包括：

電流驅動系統，用于提供多工位受測器件的驅動電流；

參數測量系統，用于監測壽命試驗過程中器件功率或波長隨時間的變化信息；

溫度控制系統，用于對受測器件的穩定溫度控制；

電路保護系統，用于對半導體激光器陣列壽命試驗過程中的工作情況進行檢測，當監測到激光器處于非正常工作狀態時關斷功率輸出模塊并給計算機控制系統發出異常信號；

計算機控制系統，主要用于實現測試參數數據的采集、分析處理、控制、LD安全保護、數據保存。

2.根據權利要求1所述的千瓦級大功率半導體激光器陣列壽命試驗在線監測系統，其特征在于，所述電流驅動系統采用一臺激光器恒流源對多只大功率半導體激光器陣列同時驅動。

3.根據權利要求1所述的千瓦級大功率半導體激光器陣列壽命試驗在線監測系統，其特征在于，所述參數測量系統包括步進電機、積分球、光譜儀，測試數據由計算機采集、處理并記錄，參數測試系統的探測器放置在裝有精密調整架的步進電機上，通過調節探測器響應面到激光光斑的間距，實現被測器件與探測器的直接位置鎖定。

4.根據權利要求1所述的千瓦級大功率半導體激光器陣列壽命試驗在線監測系統，其特征在于，所述溫度控制系統包括大功率半導體激光器夾具、微通道水冷熱沉、熱阻測試儀、多通道控水裝置及高功率循環水制冷機，所述多通道控水裝置設有有多路分水通道并分別與高功率循環水制冷機連接。

5.根據權利要求1所述的千瓦級大功率半導體激光器陣列壽命試驗在線監測系統，其特征在于，所述電路保護系統采用瞬態電壓抑制器陣列和繼電器陣列，從而控制和消除電路瞬態擾動和開、短路因素對試驗器件的影響。

6.根據權利要求1所述的千瓦級大功率半導體激光器陣列壽命試驗在線監測系統，其特征在于，試驗器件樣品臺及參數測量系統放置在一密封箱內，該密封箱上設有排氣口、引線接口、溫度控制設備接口、鋼化玻璃觀察窗口。