[發明專利]圖案修正裝置及圖案修正方法

無效

• 申請號: 201110261129.4
• 申請日: 2011-08-08
• 公開（公告）號: CN102431289A
• 公開（公告）日: 2012-05-02
• 發明（設計）人: 小池孝志
• 申請（專利權）人: NTN株式會社
• 主分類號: B41J2/01
• 分類號: B41J2/01
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 胡曉萍

技術領域

本發明涉及圖案修正裝置及圖案修正方法，尤其涉及對形成于基板表面的圖案的缺陷部進行修正的圖案修正裝置及圖案修正方法。

背景技術

由于使用噴墨裝置在基板的表面描畫圖案的方法與其它描畫方法相比，墨水的利用率較高，并能簡化作業工序，因此，近來被應用在各種領域中。此外，噴墨裝置包括壓電型、加熱型、靜電吸引型等。由于靜電吸引型的噴墨裝置能描畫出更微細的圖案，因此，一直以來提出有各種裝置(例如參照專利文獻1)。

此外，在液晶顯示器、等離子顯示器、EL顯示器等平板顯示器領域，近年來，隨著畫面的大型化、高精細化，在形成于玻璃基板上的配線(電極)及液晶濾色器等中存在缺陷的可能性增高，為了實現成品率的提高，提出了許多使用噴墨裝置的圖案修正方法。

例如，在液晶顯示器的玻璃基板的表面上形成有微細的配線。在該配線上存在斷線部位(開放缺陷部)的情形下，從噴墨噴嘴對斷線部位噴出導電性墨水(修正液體)來修正斷線部位(例如參照專利文獻2、專利文獻3)。

此外，由于從靜電吸引型的噴墨裝置噴出的墨水帶電，因此，在基板表面帶有靜電的情況下，基板與墨水會發生排斥，而使墨水散開(飛散)，在修正部的周圍多產生飛散物。為此，存在將噴墨裝置及基板收容于恒溫槽，并將恒溫室內維持成高濕度氣氛，以使蓄積在基板表面的電荷放電的方法。

專利文獻1：日本專利特開平2-225052號公報

專利文獻2：日本專利特開平11-233009號公報

專利文獻3：日本專利特許第4248840號公報

專利文獻4：日本專利特許第4372101號公報

然而，在最近的平板顯示器的制造工序中，存在尺寸超過3m×3m的基板，將這種大型的基板整體放入恒溫槽內會導致裝置的大型化，此外，恒溫槽的控制也變得復雜，因此不甚理想。此外，若將圖案修正裝置整體收容在恒溫槽內并置于高濕度氣氛中，則還擔心可能會對圖案修正裝置所包含的定位調節架等精密設備帶來不良影響。

發明內容

因此，本發明的主要目的在于提供在基板表面帶電的情形下也能以簡單的結構正確地修正缺陷部的圖案修正裝置及圖案修正方法。

本發明的圖案修正裝置是對形成于基板表面的圖案的缺陷部進行修正的圖案修正裝置，包括：局部提高缺陷部及其附近的濕度以除去缺陷部及其附近的靜電的靜電除去裝置；以及對利用靜電除去裝置除去靜電后的缺陷部噴出修正液體的液滴的靜電吸引型的噴墨噴嘴。

作為優選，靜電除去裝置包括對缺陷部及其附近噴射加濕氣體的加濕噴嘴。

此外，作為優選，靜電除去裝置還包括使氣體通過水中以對氣體進行加濕，并將加濕氣體供給到加濕噴嘴的加濕裝置。

此外，作為優選，靜電除去裝置通過局部提高缺陷部及其附近的濕度并在缺陷部及其附近的表面上形成水膜，來除去缺陷部的靜電。

此外，作為優選，靜電除去裝置包括對缺陷部噴射加濕氣體的加濕噴嘴，水膜是因加濕氣體中含有的水在缺陷部凝結而形成的。

此外，作為優選，靜電除去裝置還包括使氣體通過水中以對氣體進行加濕，并將加濕氣體供給到加濕噴嘴的加濕裝置。

此外，作為優選，加濕裝置包括：供使氣體通過以用于加濕的水注入的容器；以及將容器內的水加熱到規定溫度以使加濕氣體中含有的水在缺陷部凝結的加熱器。

此外，作為優選，修正液體是非水溶性墨水。

此外，作為優選，在開始從加濕噴嘴噴射加濕氣體之后，開始從噴墨噴嘴噴出修正液體的液滴，并在結束從噴墨噴嘴噴出修正液體的液滴之后，結束從加濕噴嘴噴射加濕氣體。

此外，作為優選，從加濕噴嘴噴射的加濕氣體的流量設定成使從噴墨噴嘴朝缺陷部噴出的修正液體的液滴不偏離缺陷部。

此外，作為優選，從加濕噴嘴噴射的加濕氣體的流量設定成加濕噴嘴前端的每1mm²內徑面積的流量在3ml/sec以下。

此外，作為優選，靜電除去裝置還包括設于加濕噴嘴的噴射口，使從加濕噴嘴噴射出的氣流分散的多孔質構件。

此外，作為優選，在噴墨噴嘴的周圍配置多個加濕噴嘴，多個加濕噴嘴對缺陷部均勻地噴射加濕氣體。

此外，作為優選，加濕噴嘴的噴出口以圍繞噴墨噴嘴的方式形成環狀。

此外，作為優選，靜電除去裝置包括設于噴墨噴嘴附近，能吸收及放出加濕用的水的水吸收構件。

此外，作為優選，水吸收構件以圍繞噴墨噴嘴的方式配置成環狀。