[發明專利]一種用于磨削晶體材料的磨機

有效

• 申請號: 201110260531.0
• 申請日: 2011-08-11
• 公開（公告）號: CN102275120A
• 公開（公告）日: 2011-12-14
• 發明（設計）人: 劉朝軒;王晨光
• 申請（專利權）人: 洛陽金諾機械工程有限公司
• 主分類號: B24B25/00
• 分類號: B24B25/00;B24B19/22
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

【技術領域】

本發明涉及一種晶體材料的加工設備，涉及一種用于磨削晶體材料的磨機，具體涉及一種用于磨削晶體材料的磨機應用。

【背景技術】

已知的，晶體材料具有硬度高，尤其是多晶硅材料硬度達到莫氏硬度7，所以對于多晶硅材料的加工，也就是晶棒的鉆孔、將晶棒磨削成端部具有錐度形狀、將晶棒磨削成端部開口或端部兩側具有切面時，難度非常之高；本發明人在先申請中公開了一種“可提高接觸面積和減小電阻的插接式硅芯搭接結構及方法”的專利申請，該方法應用于插接式硅芯搭接方法中；該方法不僅使所搭接硅芯在搭接處有比較大的接觸面，并且無需拉制目前所有工藝中的拉制硅芯圓球體這一步驟，而且比現有技術大幅度的降低了使用成本和削減了加工步驟，確保了成品率的上升等有益效果；使得晶棒在搭接時實現了面連接，使得牢固度得到了有效提高，克服了在生產過程中硅芯的倒伏現象盡可能少的發生。

但是鑒于晶棒的硬度，有必要通過正確、簡便的磨削方法實現晶棒的規范磨削；而且由于多種搭接方法的出現，有必要設計出能夠適應多種晶棒端頭結構的加工設備。

參考文獻：

中國專利；專利名稱、可提高接觸面積和減小電阻的插接式硅芯搭接結構及方法，申請號、201110153461.9，申請日、2011年6月2日。

【發明內容】

為實現所述發明目的，本發明提供了一種用于磨削晶體材料的磨機，所述的用于磨削晶體材料的磨機有效的提高了設備的利用率，本發明具有結構簡單，成品率高等優點。

為了實現所述發明目的，本發明采用如下技術方案：

一種用于磨削晶體材料的磨機，包括一端磨頭機構和另一端磨頭機構，所述一端磨頭機構和另一端磨頭機構相對應，在一端磨頭機構和另一端磨頭機構之間分別設有晶棒夾持機構，所述晶棒夾持機構的卡口分別卡接晶棒的兩頭，在一端磨頭機構或另一端磨頭機構上設有錐形磨頭、圓形磨頭或鐵餅形磨頭，形成晶棒的兩端同步的磨削錐形頭形狀的磨削；或晶棒端部磨削面形的磨削；或“U”形開口的磨削。

所述的用于磨削晶體材料的磨機，在一端磨頭機構和另一端磨頭機構之間設有線路護管，所述線路護管形成連接一端磨頭機構和另一端磨頭機構的電源或同步信號線路保護結構。

所述的用于磨削晶體材料的磨機，在一端磨頭機構或另一端磨頭機構上分別設置的錐形磨頭結構包括一側錐形磨輪和另一側錐形磨輪，所述一側錐形磨輪和另一側錐形磨輪設置為前端小后端大的錐形結構并通過電機帶動旋轉，在一側錐形磨輪和另一側錐形磨輪外緣面上設置有金剛石層，由所述金剛石層形成對晶棒的研磨，一側錐形磨輪和另一側錐形磨輪同步通過進給機構驅動，對晶棒端部進行磨削，最終使所述晶棒端部形成磨削錐形頭。

所述的用于磨削晶體材料的磨機，所述一側錐形磨輪和另一側錐形磨輪為反向旋轉或所述一側錐形磨輪和另一側錐形磨輪微動，所述晶棒對應一側錐形磨輪和另一側錐形磨輪之間形成的“V”形口自轉形成所述晶棒端部的錐形磨削，實現晶棒端部的磨削錐形頭。

所述的用于磨削晶體材料的磨機，在一端磨頭機構或另一端磨頭機構上分別設置的圓形磨頭結構包括一側圓形磨輪和另一側圓形磨輪，一側圓形磨輪和另一側圓形磨輪為間距可調或固定結構，所述一側圓形磨輪和另一側圓形磨輪通過電機帶動同步旋轉，所述晶棒固定在晶棒夾持機構上，在一側圓形磨輪和另一側圓形磨輪外緣面上設置有金剛石層，一側圓形磨輪和另一側圓形磨輪通過進給機構驅動，形成對兩側晶棒端部磨削面的磨削。

所述的用于磨削晶體材料的磨機，在一端磨頭機構或另一端磨頭機構上分別設置的鐵餅形磨輪對應晶棒端部面，由電機帶動旋轉，所述晶棒固定在晶棒夾持機構上，所述鐵餅形磨輪通過進給機構驅動，鐵餅形磨輪外部面上的金剛石層，形成對晶棒端部的磨削，實現晶棒端部的“U”形開口結構。

所述的用于磨削晶體材料的磨機，所述鐵餅形磨輪為中部厚外緣窄的結構。

由于采用上述技術方案，本發明具有如下有益效果：

所述的用于磨削晶體材料的磨機，通過將一端磨頭機構或另一端磨頭機構的磨頭設置為活動可更換的錐形磨頭、圓形磨頭或鐵餅形磨頭，實現了兩臺設備同時具有錐形磨頭、圓形磨頭或鐵餅形磨頭的三種功能，有效地減少了設備投資和利用率，不僅為生產企業節約了場地、設備投入，而且對于后續晶棒的多種搭接方式提供了有力的技術和設備保證，本發明具有結構簡單，成品率高等優點。

【附圖說明】

圖1是本發明的結構示意圖；

圖2是本發明的晶棒錐形頭磨削機構示意圖；

圖3是本發明的晶棒磨削面磨削機構示意圖；