[發(fā)明專利]尾氣的處理方法和裝置

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201110259045.7
• 申請日: 2011-09-05
• 公開（公告）號: CN102380292A
• 公開（公告）日: 2012-03-21
• 發(fā)明（設計）人: 馬擎天;蘇賢恩;劉秉承
• 申請（專利權）人: 協(xié)鑫光電科技（張家港）有限公司
• 主分類號: B01D53/74
• 分類號: B01D53/74;B01D53/68;B01D53/86
• 代理公司: 北京銀龍知識產(chǎn)權代理有限公司 11243
• 代理人: 許靜;安利霞

技術領域

本發(fā)明涉及尾氣處理領域，特別是指一種尾氣的處理方法和裝置。

背景技術

隨著人們對環(huán)保的要求，工業(yè)制程的尾氣處理方式越來越受到人們的關注。目前，制程的尾氣處理使用采用單一的熱處理技術。

熱處理方式包括：普通熱處理方式或者觸媒熱裂解方式。

普通熱處理方式是：利用高溫的方式產(chǎn)生的自由基與氟化物分解的氟物種反應，形成的最后產(chǎn)物為氫氟酸(溶于水)；經(jīng)過處理后的氣體再通過洗滌塔，利用水洗、吸附等方式去除危害性物質(zhì)。以下為SF₆穩(wěn)定性較好且鍵能值較高的氣體處理化學式范例：

觸媒熱裂解方式：其原理是熱裂解中加入觸媒的方式，降低反應活化能的能量，加強反應速率，反應可在較低溫下進行。以下為SF₆穩(wěn)定性較好且鍵能值較高的氣體處理化學式范例：

現(xiàn)有技術的熱處理方式的耗能較高。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明要解決的技術問題是提供一種尾氣的處理方法和裝置，能夠減少尾氣處理處理需要的耗能。

為解決上述技術問題，本發(fā)明的實施例提供技術方案如下：

一方面，提供一種尾氣的處理方法，包括：

獲取反應腔的氣體的類型；

根據(jù)所述氣體的類型，獲取對應的尾氣處理方式；

對所述尾氣按照對應的所述尾氣處理方式進行處理。

所述獲取反應腔的氣體的類型的步驟具體為：獲取反應腔的氣體的鍵能值；

所述根據(jù)所述氣體的類型，獲取對應的尾氣處理方式的步驟具體為：根據(jù)所述氣體的鍵能值，獲取對應的尾氣處理方式。

所述根據(jù)所述氣體的鍵能值，獲取對應的尾氣處理方式的步驟具體為：

判斷所述氣體是否包含有鍵能值大于預定值的氣體，生成判斷結果；

如果所述判斷結果為是，則對應的尾氣處理方式是電漿處理方式；否則，對應的尾氣處理方式是熱處理方式。

所述鍵能值大于預定值的氣體包括CF₄或SF₆，所述鍵能值小于或等于預定值的氣體包括CL₂或BCL₂。

所述對所述尾氣按照對應的所述尾氣處理方式進行處理的步驟具體為：

控制所述反應腔的尾氣的閥門，使所述反應腔的尾氣進入對應的所述尾氣處理方式的處理腔，在所述對應的所述尾氣處理方式的處理腔內(nèi)對所述氣體進行處理。

所述的尾氣的處理方法，還包括：

對處理后的所述尾氣進行水溶解處理。

所述獲取反應腔的氣體的類型的步驟為：

獲取進入反應腔的氣體的類型，或者獲取從反應腔排出的氣體的類型。

應用于等離子體增強化學氣相沉積機的尾氣處理或耦合式電漿離子蝕刻機的尾氣處理。

另一方面，提供一種尾氣處理裝置，包括：

第一獲取單元，獲取反應腔的氣體的類型；

第二獲取單元，根據(jù)所述氣體的類型，獲取對應的尾氣處理方式；

處理單元，對所述尾氣按照對應的所述尾氣處理方式進行處理。

第一獲取單元具體為：獲取反應腔的氣體的鍵能值；

第二獲取單元具體為：根據(jù)所述氣體的鍵能值，獲取對應的尾氣處理方式。

本發(fā)明的實施例具有以下有益效果：

上述方案中，能夠根據(jù)反應腔的氣體的類型采用不同的尾氣處理方式，降低了采用單一熱處理方式時的耗能。

附圖說明

圖1為本發(fā)明的尾氣的處理方法的一實施例的流程示意圖；

圖2為本發(fā)明的尾氣的處理方法的另一實施例的流程示意圖；

圖3為本發(fā)明的尾氣處理裝置的連接示意圖；

圖4為本發(fā)明的尾氣處理裝置的第一實施例的結構示意圖；

圖5為本發(fā)明的尾氣處理裝置的第二實施例的結構示意圖。

具體實施方式

為使本發(fā)明的實施例要解決的技術問題、技術方案和優(yōu)點更加清楚，下面將結合附圖及具體實施例進行詳細描述。

如圖1所示，為本發(fā)明所述的一種尾氣的處理方法的一實施例，包括：

步驟11，獲取反應腔的氣體的類型；該步驟具體為：獲取進入反應腔的氣體的類型，或者獲取從反應腔排出的氣體的類型。例如，在制程中，每種氣體對應一種氣體的質(zhì)量流量控制器，以控制氣體進入反應腔的流量，可以通過質(zhì)量流量控制器反饋的信號獲取進入反應腔的氣體的類型。也可以通過氣體監(jiān)測單元獲取反應腔排出的氣體類型。