[發(fā)明專利]檢查裝置

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201110258139.2
• 申請日: 2011-09-02
• 公開（公告）號: CN102384917A
• 公開（公告）日: 2012-03-21
• 發(fā)明（設計）人: 伊藤隆;小松健一郎
• 申請（專利權）人: 株式會社拓普康
• 主分類號: G01N21/95
• 分類號: G01N21/95
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 王岳;王忠忠

1.一種檢查裝置，其具備：觀察光學系統(tǒng)，其將觀察光軸上的規(guī)定位置設為觀察面；反射照明機構，其從該觀察光學系統(tǒng)側對所述觀察面進行照明；以及透射照明機構，其從所述觀察光學系統(tǒng)的相反側對所述觀察面進行照明，所述檢查裝置其特征在于，

所述透射照明機構具有：射出部，其射出從光源導光的透射光；以及散射部，其使由該射出部射出的透射光散射，

該散射部在所述透射照明機構的透射光軸方向進行觀察距所述觀察面隔開規(guī)定間隔地設置，以便使所述觀察面的透射光成為規(guī)定的散射狀態(tài)。

2.根據(jù)權利要求1所述的檢查裝置，其特征在于，

所述規(guī)定的散射狀態(tài)是在使粘貼有檢查對象物的帶位于所述觀察面上且以所述觀察光學系統(tǒng)觀察照射了來自所述透射照明機構的透射光的所述觀察面上的所述帶時，使所述帶為均勻明亮的狀態(tài)。

3.根據(jù)權利要求1或2所述的檢查裝置，其特征在于，

所述透射照明機構具有：透射部件，其允許來自所述射出部的透射光的透射，而且在所述散射部與所述觀察面之間設置有規(guī)定沿該觀察面的平面的平坦面。

4.根據(jù)權利要求3所述的檢查裝置，其特征在于，

所述散射部以在所述透射部件中與所述射出部相向的相向面為散射面的方式構成。

5.根據(jù)權利要求4所述的檢查裝置，其特征在于，

還具備能從所述透射照明機構側保持粘貼有所述檢查對象物的所述帶的筒狀的保持臺，

所述透射部件呈以通過保持于所述保持臺而埋入該保持臺的內(nèi)側的方式延伸的板狀，

所述射出部具有降低射出的透射光的擴散的聚光光學部件，以便使透射光以規(guī)定的點區(qū)域向所述透射部件的所述散射部入射。

6.根據(jù)權利要求5所述的檢查裝置，其特征在于，

所述聚光光學部件是還具有將在與透射光軸正交的剖面觀察的光量分布均勻化的功能的棒狀積分器光學部件。

7.根據(jù)權利要求4所述的檢查裝置，其特征在于，

所述透射照明機構具有連結所述射出部和所述透射部件并同時將其保持于內(nèi)側的筒狀保持部。

8.根據(jù)權利要求7所述的檢查裝置，其特征在于，

所述射出部具有將在與透射光軸正交的剖面觀察的光量分布均勻化的積分器光學部件。