[發(fā)明專(zhuān)利]高密度碳納米管束的制備工藝無(wú)效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201110257830.9 | 申請(qǐng)日： | 2011-09-02 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN102328925A | 公開(kāi)（公告）日： | 2012-01-25 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 劉建影;姜迪 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人： | 上海大學(xué) |
| 主分類(lèi)號(hào)： | C01B31/02 | 分類(lèi)號(hào)： | C01B31/02;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 上海上大專(zhuān)利事務(wù)所(普通合伙) 31205 | 代理人： | 顧勇華 |
| 地址： | 200444*** | 國(guó)省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書(shū)： | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū)： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 高密度 納米 管束 制備 工藝 | ||
1.一種高密度碳納米管束的制備工藝，其特征在于該工藝具有以下步驟：
1）在硅片上旋涂一層剝離膠，加熱這層剝離膠以后，在其上再旋涂一層標(biāo)準(zhǔn)的正光刻膠，經(jīng)過(guò)紫外線(xiàn)曝光10秒、MF319顯影50秒之后，剝離膠形成底切結(jié)構(gòu)，蒸鍍催化劑工藝后，硅片置于光刻膠去除劑中，剝離去剝離膠、光刻膠和附著在光刻膠上的催化劑薄膜，在硅片上形成和光刻掩模同樣圖案的催化劑圖案，催化劑薄膜由5nm厚的Al2O3和1nm厚的Fe組成；
2）將載有催化劑薄膜圖案的芯片置入石英管中，將石英管抽真空后再在常壓下通以900?cm3/min的氬氣和100?cm3/min的氫氣；加熱整個(gè)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)至725℃，穩(wěn)定15分鐘后，將氬氣和氫氣流都調(diào)整至500?cm3/min，再加以30?cm3/min的乙炔作為合成碳納米管的原料氣體；15分鐘后，切斷乙炔供應(yīng)，并停止加熱；再將氬氣和氫氣流分別調(diào)整為900?cm3/min和100?cm3/min，保持這樣的氣流供應(yīng)直至系統(tǒng)冷卻至200℃，從而得到按照設(shè)計(jì)圖案定向生長(zhǎng)的碳納米管陣列樣品；
3）將得到的碳納米管陣列樣品倒置于紙上，碳納米管與紙面接觸，隨后在紙上噴灑異丙醇液體，等待異丙醇液體揮發(fā)消失；
4）最后將碳納米管陣列樣品與紙分離。
2.如權(quán)利要求1所述的高密度碳納米管束的制備工藝，其特征是：
制備時(shí)使用的剝離膠為L(zhǎng)OL2000或LOR1A，光刻膠為S1813，光刻膠去除劑為Shipley?remover?1165。
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