[發明專利]用于LED晶粒點測設備的點測裝置

有效

• 申請號: 201110257764.5
• 申請日: 2011-09-02
• 公開（公告）號: CN102509709A
• 公開（公告）日: 2012-06-20
• 發明（設計）人: 林晉生;白智亮;李聰明;溫俊熙
• 申請（專利權）人: 致茂電子(蘇州)有限公司
• 主分類號: H01L21/66
• 分類號: H01L21/66;H01L33/00
• 代理公司: 北京天平專利商標代理有限公司 11239
• 代理人: 孫剛

技術領域

本發明系關于一種用于LED晶粒點測設備的點測裝置，尤其是一種應用以能量轉換器控制該點測裝置的起落行程于待測LED晶粒上。

背景技術

近年來，隨著科技的進步，LED晶圓的制程亦不斷精進，同時為了有效提升晶圓產品的品管良率，業者往往會于后段制程中，以點測裝置將電流準確地傳送至晶圓上的LED晶粒，并藉由偵測該晶圓上的LED晶粒所發出光線的特性，以判斷出晶圓上每一晶粒的優劣。

目前傳統的點測裝置如圖1所示，該傳統式點測裝置1系由一邊緣檢測(edge?sensor)開關11、一擺臂12及一探針13所組成，因此當底部的驅動機構2經由調整使該具有LED晶圓4的承載裝置3向上移動時，能使該LED晶圓4靠近該點測裝置1，該LED晶圓4的頂面會抵壓該點測裝置1的探針13，使該探針13能與該LED晶圓4的LED晶粒41接觸，同時，該邊緣檢測(edge?sensor)開關11能將所接收的外部電流，通過該探針13傳送至該LED晶圓4上的LED晶粒41，使得LED晶粒41接收到電流而發光，如此，業者即能藉由偵測該LED晶圓4上的LED晶粒41所發出光線的特性，以判斷該LED晶圓4上每一晶粒的優劣。

但上述傳統的點測裝置，其中的一項缺失在于當該點測裝置1進行點測時，在探針13接觸到LED晶粒41后即成為接通狀態，此時必須在邊緣檢測(edge?sensor)開關11處的接合動作下送一測試電流至探針13，藉此讓待測LED晶粒41由兩支點測測裝置導通點亮；不過，傳統的邊緣檢測(edge?sensor)開關11為機械式動作，在點測過程累積反復開啟/關閉動作之下，很容易造成接觸不佳，使測試電流無法有效準確地傳送至該LED晶圓4上的LED晶粒41，導致點測后的數據資料可信度遭存疑。

因此，若能夠維持點測裝置的可靠度，改善以往導通后送測試訊號的機械式接觸的測試訊號失真問題，并且控制改善該探針接觸該LED晶圓的速度輸出及力量輸出，應為一最佳解決方案。

發明內容

本發明的目的在于提供一種用于LED晶粒點測設備的點測裝置，其結構簡單，操作方便。

為實現上述目的，本發明公開了一種用于LED晶粒點測設備的點測裝置，用以接觸檢測LED晶圓上的多個LED晶粒，該點測裝置至少具有兩支測試探針組，其特征在于各測試探針組包括：

一探針，用以與該LED晶圓上該些LED晶粒接觸；

一能量轉換器，與該探針一端相連接，用以將所接收電能轉換為機械動能，以控制該探針于該LED晶圓上的起落行程，使該探針以受控制的起落速度接觸該些LED晶粒；以及

一驅動單元，與該能量轉換器電性相接，用以提供該能量轉換器的輸入電能訊號。

其中，該LED晶粒點測設備更具有一承載裝置及一驅動機構，該承載裝置用以置放至少一片LED晶圓，而該驅動機構能夠驅動該承載裝置進行移動。

其中，該承載裝置能夠藉由該驅動機構作X、Y軸向位移。

其中，該承載裝置能夠藉由該驅動機構作X、Y、Z軸向位移。

其中，該能量轉換器為音圈馬達。

其中，該LED晶粒點測設備更具有一與該驅動器相連接控制單元，該控制單元能夠傳送訊號進入該驅動器中，并透過該驅動單元進行控制該能量轉換器的速度輸出及力量輸出。

通過本發明，能實現以下技術效果：

1.本發明系能夠藉由能量轉換器來對探針下壓接觸LED晶圓所輸出的力量、位置、加速度以及速度進行控制，并在操作中隨時進行力量位置以及速度的轉換，以使該探針能以受控制的起落速度接觸LED晶圓上的LED晶粒。

2.本發明能使探針緩慢并精準的接觸LED晶圓上的LED晶粒，以便提高偵測靈敏度及定位準確性。

附圖說明

圖1：為習知傳統式點測裝置的架構圖；

圖2：為本發明用于LED晶粒點測設備的點測裝置的架構圖；

圖3：為本發明用于LED晶粒點測設備的點測裝置的能量轉換器的動作曲線圖；

圖4A：為本發明用于LED晶粒點測設備的點測裝置的起實施例圖；以及

圖4B：為本發明用于LED晶粒點測設備的點測裝置的實施例圖。

具體實施方式

有關于本發明的前述及其他技術內容、特點與功效，在以下配合參考圖式的較佳實施例的詳細說明中，將可清楚的呈現。