[發明專利]設有雙法拉第筒的電子束束斑尺寸測量裝置及其測量方法

有效

• 申請號: 201110257322.0
• 申請日: 2011-09-01
• 公開（公告）號: CN102435128A
• 公開（公告）日: 2012-05-02
• 發明（設計）人: 趙健;夏忠平;張學淵;鐘偉杰
• 申請（專利權）人: 上海顯恒光電科技股份有限公司
• 主分類號: G01B7/00
• 分類號: G01B7/00
• 代理公司: 上海精晟知識產權代理有限公司 31253
• 代理人: 何新平

1.設有雙法拉第筒的電子束束斑尺寸測量裝置，包括一輔助偏轉系統、一法拉第筒、一與所述法拉第筒連接的電流測量系統，其特征在于，所述輔助偏轉系統與所述法拉第筒之間設有一輔助法拉第筒，所述輔助法拉第筒上設有一豎直的通孔，所述通孔將所述輔助法拉第筒分割成左右兩部分，左右兩部分的所述輔助法拉第筒分別連接所述電流測量系統；

所述通孔的底部設有一朝向所述通孔頂部的截頭圓錐形攔截筒，所述攔截筒中空，所述攔截筒上窄下寬。

2.根據權利要求1所述的設有雙法拉第筒的電子束束斑尺寸測量裝置，其特征在于：所述攔截筒的中線與所述法拉第筒的入口中線重合。

3.根據權利要求1或2所述的設有雙法拉第筒的電子束束斑尺寸測量裝置，其特征在于：所述攔截筒的頂部不高于所述輔助法拉第筒的頂部。

4.根據權利要求3所述的設有雙法拉第筒的電子束束斑尺寸測量裝置，其特征在于：所述通孔頂部的直徑大于所述攔截筒頂部的直徑。

5.根據權利要求4所述的設有雙法拉第筒的電子束束斑尺寸測量裝置，其特征在于：所述通孔的頂部設有一圈傾斜的擋板，所述擋板設置在所述輔助法拉第筒內，且所述擋板的傾斜度與所述攔截筒的橫截面的底角相等。

6.設有雙法拉第筒的電子束束斑尺寸測量方法，其特征在于，包括如下步驟：

1)使用輔助偏轉系統控制電子束均勻掃過輔助法拉第筒的攔截筒、法拉第筒的入口，電流測量系統分別記錄輔助法拉第筒和法拉第筒上的電流；

2)電流測量系統測得輔助法拉第筒的電流波形，并對電流波形進行一次微分，確定脈寬時間Δt；

3)電流測量系統測得法拉第筒的電流波形，確定相對尺寸比例T；

4)輔助法拉第筒上的攔截筒頂部的直徑為寬度W；

5)計算束斑尺寸B：B=W×ΔtT.]]>