[發明專利]振動片、振子、振動器件以及電子設備

無效

• 申請號: 201110257239.3
• 申請日: 2011-09-01
• 公開（公告）號: CN102403972A
• 公開（公告）日: 2012-04-04
• 發明（設計）人: 河合宏紀
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: H03H3/02
• 分類號: H03H3/02;H03H9/13
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 李輝;馬建軍

技術領域

本發明涉及振動片、振子、振動器件以及電子設備。

背景技術

作為石英振蕩器等的振動器件，公知具有音叉型振動片的振動器件，該音叉型振動片具有多個振動臂(例如參照專利文獻1)。

例如，專利文獻1所記載的振動片具有：基部；從該基部起彼此平行地延伸的3個振動臂；以及在各振動臂上按順序依次形成下部電極膜、壓電體膜和上部電極膜而構成的壓電體元件。在這種振動片中，各壓電體元件對下部電極膜與上部電極膜之間施加電場，由此使壓電體層伸縮，使振動臂在基部的厚度方向(所謂的面外方向)上進行彎曲振動。此時，相鄰的兩個振動臂彼此朝相反方向進行彎曲振動。即，在位于兩端部的兩個振動臂(端部振動臂)朝厚度方向的一側彎曲時，位于中央部的1個振動臂(中央部振動臂)朝厚度方向的另一側彎曲，兩個端部振動臂朝厚度方向的另一側彎曲時，中央部振動臂朝厚度方向的一側彎曲。由此，抑制振動泄漏并實現了振動特性的提高。

【專利文獻1】日本特開2009-5022號公報

但是，在這種專利文獻1所記載的振動片中，在3個振動臂的相同表面(上表面)上設置有壓電體元件，因此產生如下問題。即，連接兩個端部振動臂的上部電極膜和中央部振動臂的下部電極膜的布線(以下為第1布線)、與連接兩個端部振動臂的下部電極膜和中央部振動臂的上部電極膜的布線(以下為第2布線)交叉，布線非常煩雜。此時，在第1布線與第2布線的交叉部分上，需要在第1布線與第2布線之間設置絕緣膜來使兩者電分離，從而成為使制造效率變差的原因。

此外，在專利文獻1所記載的振動片中，在3個振動臂的相同表面(上表面)上設置有壓電體元件，因此產生如下問題。即，各振動臂的重心位于其厚度方向的大致中央，但是由于在3個振動臂的相同表面(上表面)上設置有壓電體元件，各振動臂的重心朝上側(形成有壓電體元件的表面側)移動。由此，在全部振動臂的重心朝相同方向偏離時，3個振動臂的彎曲振動失去平衡，從而振動特性降低。

發明內容

本發明的目的在于，提供實現布線簡化以及改善振動平衡帶來的振動特性提高中的至少一個的振動片，并且，提供具有該振動片的可靠性良好的振子、振動器件以及電子設備。

本發明正是為了解決上述課題中的至少一部分而完成的，可作為以下方式或應用例來實現。

[應用例1]

本發明的振動片的特征在于，該振動片具有：

基部，其設置在包含第1方向和與該第1方向垂直的第2方向的平面上；

振動臂，其從所述基部起在所述第1方向上延伸，在所述第2方向上排列設置有多個；以及

壓電體元件，其設置在各個所述振動臂上，使所述振動臂在所述平面的法線方向上進行彎曲振動，

所述振動臂分別具有第1面、第2面和側面，所述第1面由于所述彎曲振動而壓縮或拉伸，所述第2面在所述第1面壓縮時拉伸，在所述第1面拉伸時壓縮，所述側面連接所述第1面和所述第2面，

多個所述振動臂具有相互向相反方向進行所述彎曲振動的至少一個第1振動臂和至少一個第2振動臂，

所述第1振動臂在所述第1面側設置有所述壓電體元件，

所述第2振動臂在所述第2面側設置有所述壓電體元件。

由此，與以往那樣在振動臂的一面側配置全部壓電體元件的情況相比，能夠避免布線彼此交叉。并且，能夠抑制多個振動臂整體的中心在包含第1方向和第2方向的平面的法線方向上的偏離。因此，能夠使各振動臂在所述法線方向上平衡良好地進行彎曲振動，從而得到能夠發揮優異的振動特性的振動片。

[應用例2]

優選在本發明的振動片中，其特征在于，所述第1振動臂和所述第2振動臂在所述第2方向上交替配置。

由此，能夠使通過相鄰的兩個振動臂產生的振動泄漏相互抵消。從而能夠防止振動泄漏。

[應用例3]

優選在本發明的振動片中，其特征在于，

所述壓電體元件分別具有第1電極層、第2電極層、和配置于所述第1電極層和所述第2電極層之間的壓電體層，

所述第1振動臂在所述第1面上設置有所述第1電極層，

所述第2振動臂在所述第2面上設置有所述第1電極層。