[發明專利]一種回收硅片多線切割過程中產生的廢漿料的方法無效
| 申請號: | 201110256659.X | 申請日: | 2011-09-01 |
| 公開(公告)號: | CN102962905A | 公開(公告)日: | 2013-03-13 |
| 發明(設計)人: | 孟濤 | 申請(專利權)人: | 鎮江仁德新能源科技有限公司 |
| 主分類號: | B28D7/00 | 分類號: | B28D7/00 |
| 代理公司: | 北京金信立方知識產權代理有限公司 11225 | 代理人: | 朱梅;劉曄 |
| 地址: | 212200 江蘇省鎮*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 回收 硅片 切割 過程 產生 漿料 方法 | ||
1.一種回收硅片多線切割過程中產生的廢漿料的方法,其特征在于,包括如下步驟:
1)將在多線切割過程中產生的廢砂漿和洗機廢液分別導入不同的容器中,分別得到廢砂漿和洗機廢液;
2)使用固液分離裝置處理洗機廢液,回收得到洗機用切割液;
3)將在步驟2)中產生的固體殘渣加入廢砂漿中,并回收處理混合后的廢砂漿。
2.根據權利要求1所述的方法,其特征在于,所述固液分離裝置為選自板框式壓濾機、使用膜過濾的設備、沉降式離心機和過濾式離心機的一種或兩種以上的組合。
3.根據權利要求2所述的方法,其特征在于,所述使用膜過濾的設備為使用中孔纖維、有機膜或陶瓷膜過濾的設備。
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