[發(fā)明專利]一種超材料及其制備方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201110255663.4
• 申請(qǐng)日: 2011-08-31
• 公開（公告）號(hào): CN102965624A
• 公開（公告）日: 2013-03-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉若鵬;趙治亞;法布里齊亞;何雪涵
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳光啟高等理工研究院;深圳光啟創(chuàng)新技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/24
• 分類號(hào): C23C14/24;C23C14/04
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種超材料的制備方法，其特征在于：所述的制備方法包括以下步驟：

將潔凈并干燥后的基板放置在蒸鍍?nèi)萜鲀?nèi)的工作臺(tái)上；

在真空環(huán)境下，將蒸鍍?nèi)萜鲀?nèi)的金屬加熱直至升華成為金屬蒸汽；

所述的金屬蒸汽通過掩膜板在基板上形成一層均勻的金屬膜，金屬膜圖案為超材料的微結(jié)構(gòu)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超材料的制備方法，其特征在于：所述的步驟進(jìn)一步包括：為使所述的基板表面平整，在基板潔凈并干燥之前對(duì)所述的基板拋光處理。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超材料的制備方法，其特征在于：所述的蒸鍍?nèi)萜髟O(shè)置有使金屬原子往同一個(gè)方向運(yùn)動(dòng)的電場(chǎng)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超材料的制備方法，其特征在于：所述的金屬與電源相連，采用電加熱所述的金屬。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超材料微結(jié)構(gòu)的制備方法，其特征在于：所述的金屬膜圖案的厚度由蒸鍍的時(shí)間控制。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的超材料的制備方法，其特征在于：所述的蒸鍍時(shí)間越長(zhǎng)，所述的金屬膜圖案的厚度越厚。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超材料的制備方法，其特征在于：所述的金屬膜圖案由所述的掩膜板控制。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超材料的制備方法，其特征在于：所述的金屬為金、銀、鉑、鋁或銅。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超材料的制備方法，其特征在于：所述的基板材質(zhì)為硬質(zhì)的或柔性的板材或薄膜。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超材料的制備方法，其特征在于：所述的基板為紙質(zhì)基板。

11.一種超材料，其特征在于：包括權(quán)利要求1-10任意所述的方法制備的超材料。